[发明专利]一种湿处理基板腔室

权利要求书

1.一种湿处理基板腔室，其特征在于：包括腔室主体(1)、气体过滤装置(2)及用于检测所述腔室主体(1)内部气体压力的压力传感器；

所述腔室主体(1)具有进气口及排气口，所述气体过滤装置(2)具有进风口及出风口，所述气体过滤装置(2)安装于所述腔室主体(1)上，且所述气体过滤装置(2)的出风口与所述腔室主体(1)的进气口相连通，所述气体过滤装置(2)的进风口设置有进风动力源(201)，所述进风动力源(201)及所述压力传感器分别与外接控制器连接。

2.根据权利要求1所述的一种湿处理基板腔室，其特征在于：所述气体过滤装置(2)包括气体过滤壳体(202)、整流板A(203)及滤芯(204)；

所述气体过滤装置(2)的出风口开设于所述气体过滤壳体(202)的底面上，所述气体过滤装置(2)的进风口开设于所述气体过滤壳体(202)的一侧面上，所述整流板A(203)安装于所述气体过滤壳体(202)的内腔中、并将所述气体过滤壳体(202)的内腔分隔成整流前空间及整流后空间两个空间，所述整流前空间与所述气体过滤装置(2)的进风口相连通，所述整流后空间与所述气体过滤装置(2)的出风口相连通，所述滤芯(204)安装于所述气体过滤壳体(202)内腔的整流后空间中，所述整流板A(203)上开设有若干个整流孔(2031)；

外界环境气体通过所述气体过滤装置(2)的进风口上的进风动力源(201)被输入至所述气体过滤壳体(202)内腔的整流前空间，所述整流前空间中的气体穿过所述整流板A(203)的整流孔(2031)进入至所述气体过滤壳体(202)内腔的整流后空间中，所述整流后空间中的气体经过所述滤芯(204)并被滤芯(204)过滤、之后从所述气体过滤装置(2)的出风口流入所述腔室主体(1)中。

3.根据权利要求2所述的一种湿处理基板腔室，其特征在于：所述气体过滤装置(2)出风口外侧的气体过滤壳体(202)底面上设有密封件A(205)，所述密封件A(205)被夹在所述气体过滤壳体(202)底面与腔室主体(1)外表面之间。

4.根据权利要求1所述的一种湿处理基板腔室，其特征在于：所述腔室主体(1)包括腔室主体箱体(101)及腔室主体顶板(102)，所述腔室主体箱体(101)的顶端开口，所述腔室主体顶板(102)安装于所述腔室主体箱体(101)的顶端、并封闭所述腔室主体箱体(101)的顶端开口，所述腔室主体(1)的排气口开设于所述腔室主体箱体(101)的底部，所述腔室主体(1)的进气口开设于所述腔室主体顶板(102)上，且所述气体过滤装置(2)安装于所述腔室主体顶板(102)的顶面上，所述腔室主体箱体(101)的内侧安装有整流板B(103)。

5.根据权利要求4所述的一种湿处理基板腔室，其特征在于：所述腔室主体顶板(102)采用透明的耐化学腐蚀的工程塑料材料制成。

6.根据权利要求5所述的一种湿处理基板腔室，其特征在于：所述腔室主体顶板(102)上设有用于对所述腔室主体箱体(101)内部照明的照明装置(3)，所述照明装置(3)与外接控制器连接。

7.根据权利要求5所述的一种湿处理基板腔室，其特征在于：所述腔室主体顶板(102)上设有用于对所述腔室主体箱体(101)内部进行视频监控的视频监控装置(4)，所述视频监控装置(4)与外接控制器连接。

8.根据权利要求4所述的一种湿处理基板腔室，其特征在于：所述腔室主体箱体(101)的后侧面上开设有观察窗口，所述观察窗口上安装有观察窗板(5)；

所述腔室主体箱体(101)外周面上开设有若干个检修口，每个所述检修口上均安装有检修挡板(6)；

所述观察窗板(5)与腔室主体箱体(101)后侧面之间及每个所述检修挡板(6)与所述腔室主体箱体(101)外周面之间均设有密封件B(7)。