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- [发明专利]一种湿处理流体回收装置-CN202211674584.1在审
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王本义;王一;刘迟;关贺聲;孙俊主
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沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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2022-12-26
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2023-06-06
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H01L21/67
- 本发明涉及半导体湿制程工艺领域，具体地说是一种湿处理流体回收装置，包括设有流体调速装置的基座，该流体调速装置位于基座的中心处，还包括上固定回收槽、下固定回收槽、升降回收槽盖及若干层由外至内依次设置的升降回收槽，升降回收槽盖及每层升降回收槽分别各连接有一组外接升降组件。在所有组外接升降组件均为缩回时，回收凹槽B及所有回收凹槽C均处于被挡住状态；通过调节各组外接升降组件伸出状态以控制回收凹槽B及各回收凹槽C的开启使用。本发明通过上固定回收槽、下固定回收槽、升降回收槽盖及升降回收槽的配合设置，做到可根据湿制程工艺中化学药品种类以及数量对应配置，并分类收集回收液体，且收集率高。
- 一种处理流体回收装置
- [发明专利]一种老人用智能拐杖-CN202310271177.4在审
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刘迟;唐丽娟;殷慧
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上海市静安区中心医院（复旦大学附属华山医院静安分院）
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2023-03-20
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2023-05-23
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A45B9/04
- 本发明属于拐杖技术领域，且公开了一种老人用智能拐杖，包括底座，所述底座的内腔固定安装有气筒，所述气筒的底端固定连接有升降筒，所述升降筒的内腔固定连接有伸缩弹簧，所述伸缩弹簧的顶端固定连接有橡胶活塞头，所述橡胶活塞头的底端固定连接有升降杆，所述升降杆的靠近底座的一侧开设有导向槽，所述升降筒内腔的底端固定安装有导向块，所述橡胶活塞头的顶端固定安装有顶杆，所述气筒的顶端固定安装有密封管，所述气筒的顶端固定连接有出气管，所述出气管靠近底座中心处的一侧固定连接有连接管。使得老人在通过不平整的路面时，每个扇形支撑脚都能够贴合于地面，进而避免其中一个扇形支撑脚悬空导致老人跌倒或者行动受阻的情况出现。
- 一种老人智能拐杖
- [发明专利]一种湿处理基板腔室-CN202211687165.1在审
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王本义;刘迟;于宏嘉
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沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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2022-12-27
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2023-05-09
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H01L21/67
- 本发明涉及半导体湿制程工艺设备技术领域，具体地说是一种湿处理基板腔室，包括腔室主体、气体过滤装置及用于检测腔室主体内部气体压力的压力传感器，还包括照明装置、视频监控装置及自动开关门装置。本发明通过压力传感器、外接控制器与气体过滤装置配合设置，可实现腔室主体内压力按需求自动调节，从而确保腔室主体内压力可控，进而保障了工艺稳定性；通过气体过滤装置的设置，可在实现正常对腔室主体供气的功能的基础上，充分对进入气体过滤壳体的外界环境空气进行过滤；通过自动开关门装置的设置，可实现自动控制基板通过窗口的开启与封闭。本发明能够更好地适应目前半导体湿制程工艺的高要求，使用稳定性高。
- 一种处理基板腔室
- [发明专利]一种升降旋转装置-CN202211686380.X在审
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王本义;刘迟;于宏嘉;戴红峰
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沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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2022-12-26
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2023-05-05
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B05B3/02
- 本发明涉及半导体湿制程工艺领域，具体地说是一种升降旋转装置，包括机架、旋转驱动件、升降驱动件及滚珠花键副。旋转驱动件安装于机架上，旋转驱动件的驱动端通过传动组件带动滚珠花键螺母在滚珠花键母法兰中转动，进而带动滚珠花键轴转动；升降驱动件安装于机架上，升降驱动件的驱动端通过浮动结构与滚珠花键轴的下端连接、并带动滚珠花键轴在滚珠花键母法兰中升降。本发明通过旋转驱动件、升降驱动件及滚珠花键副的配合设置结构，可分别实现滚珠花键轴的旋转动作及升降动作，滚珠花键副本身具有导向效果，运行更准确顺畅，且集成度高，结构相对简单且造价低，使安装维护更加方便，更加适合半导体湿制程工艺设备使用。
- 一种升降旋转装置
- [发明专利]一种基板固定装置-CN202211686548.7在审
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王本义;刘迟;于宏嘉;戴红峰
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沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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2022-12-26
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2023-05-05
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H01L21/687
- 本发明涉及半导体湿制程工艺领域，具体地说是一种基板固定装置，包括基板固定基座、基板支撑柱及基板升降机构，基板升降机构设置于基板固定基座的下侧。基板固定基座的顶部为支撑盘部，基板固定基座的支撑盘部上开设有若干个支撑柱穿过孔及若干条喷气通道，每个支撑柱穿过孔中均对应穿设有基板支撑柱，各基板支撑柱的下端均与基板升降机构的输出端连接，基板升降机构带动各基板支撑柱在各对应的支撑柱穿过孔中进行升降。本发明通过配合设置的基板支撑柱及基板升降机构，可将基板支撑提升，以便于进行工艺时对基板背面做流体保护，并方便机器人手指取送基板。本发明可同时兼顾ESD特性，非常适用于半导体湿制程中使用腐蚀性化学药品相关工艺设备。
- 一种固定装置
- [发明专利]一种流体调速装置-CN202211712616.2在审
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王本义;王一;刘迟;关贺聲;孙俊主
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沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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2022-12-26
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2023-04-25
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B05B16/20
- 本发明涉及半导体湿制程工艺领域，具体地说是一种流体调速装置，包括基座、基板转轴、固定环、流体回收盘、流体回收盘连接环、基板转轴驱动件及流体回收盘驱动件。基板转轴穿设于基座中部、下端与基板转轴驱动件连接，固定环安装于基板转轴外周的基座上，流体回收盘驱动件安装于固定环外周的基座上，流体回收盘驱动件通过流体回收盘连接环直接带动流体回收盘转动。本发明相对现有的技术，通过采用直驱电机的流体回收盘驱动件，在做到提高化学药品回收率的同时，做到了驱动端模块化，便于安装维护，可有效避免间接驱动例如齿轮传动或压缩空气推动叶轮等驱动方式带来的颗粒物污染问题，保证半导体湿制程的工艺效果。
- 一种流体调速装置
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