[发明专利]成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法

权利要求书

1.一种成膜装置，其特征在于，

该成膜装置具备：

成膜单元，包括放出成膜材料的成膜源，一边在移动方向上往复移动一边对基板进行成膜；

挡板，遮挡从所述成膜源放出的所述成膜材料向所述基板的飞散；以及

移动部件，开闭所述挡板；

所述移动部件与所述成膜单元向所述移动方向的第一侧的移动联动地使所述挡板从全闭位置向全开位置向所述第一侧移动，

在由所述成膜单元进行的向所述基板的成膜中，经过由所述挡板覆盖所述基板的一部分的状态。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述移动部件在维持所述挡板与所述成膜单元的相对的位置关系的状态下，使所述挡板从所述全闭位置移动到所述全开位置。

3.根据权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于，

该成膜装置还具备：

第一成膜载置台，对通过第一对准机构与第一掩模进行了对准的作为所述基板的第一基板进行成膜；以及

第二成膜载置台，与所述第一成膜载置台并列地设置在作为所述第一侧的相反侧的第二侧，对通过第二对准机构与第二掩模进行了对准的作为所述基板的第二基板进行成膜，

所述挡板是遮挡所述成膜材料向所述第一基板飞散的第一挡板，

所述移动部件是使所述第一挡板在作为所述全闭位置的第一全闭位置与作为所述全开位置的第一全开位置之间开闭的第一移动部件，

所述成膜装置还具备：

第二挡板，遮挡从所述成膜源放出的所述成膜材料向所述第二基板的飞散；以及

第二移动部件，使所述第二挡板在第二全闭位置与第二全开位置之间开闭。

4.根据权利要求3所述的成膜装置，其特征在于，

所述第二移动部件与所述成膜单元向所述第二侧的移动联动地使所述第二挡板从所述第二全闭位置向所述第二全开位置向所述第二侧移动，

在由所述成膜单元进行的向所述第二基板的成膜中，经过由所述第二挡板覆盖所述第二基板的一部分的状态。

5.根据权利要求4所述的成膜装置，其特征在于，

所述成膜单元在一边向所述第一侧移动一边对所述第一基板进行成膜之后，一边向所述第二侧移动一边依次对所述第一基板、所述第二基板进行成膜，

所述第一移动部件与所述成膜单元向所述第二侧的移动联动地使所述第一挡板从所述第一全开位置向所述第二全开位置向所述第二侧移动，

所述第二移动部件根据来自向所述第二侧移动着的所述成膜单元的所述成膜源的所述成膜材料的放出范围到达所述第二成膜载置台的情况，使所述第二挡板从所述第二全闭位置向所述第二全开位置向所述第二侧移动。

6.根据权利要求4所述的成膜装置，其特征在于，

所述第二移动部件在所述挡板的高度，在位于所述全闭位置的所述第二挡板的所述第一成膜载置台侧的端部和来自所述成膜源的所述成膜材料的放出范围具有规定的距离的状态下，使所述第二挡板向所述第二侧开始移动。

7.根据权利要求3所述的成膜装置，其特征在于，

由所述第二对准机构进行的所述第二基板与所述第二掩模的对准在由所述成膜单元进行的向所述第一基板的成膜中开始，并在所述第二移动部件使所述第二挡板从所述第二全闭位置向所述第二侧开始移动之前完成。

8.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述成膜单元在一边向所述第一侧移动一边对所述基板进行成膜之后，一边向作为所述第一侧的相反侧的第二侧移动一边对所述基板进行成膜，

所述移动部件与所述成膜单元向所述第二侧的移动联动地使所述挡板从所述全开位置向所述全闭位置向所述第二侧移动，

在所述成膜单元一边向所述第二侧移动一边向所述基板的成膜中，经过由所述挡板覆盖所述基板的一部分的状态。