[发明专利]一种上下料装置及上下料方法

说明书

本申请涉及一种上下料装置及上下料方法，其中，上下料装置包括机架、伸缩部及上下料机构，上下料机构包括用于固定工件的固定部；伸缩部包括两个沿伸缩方向依次连接并相互独立的伸缩件，伸缩部的一端与机架连接，伸缩部的另一端与上下料机构连接。通过该上下料装置在对晶圆的上下料操作时，能够在实现精准控制的同时，简化整体结构并降低成本。

技术领域

本申请涉及半导体加工设备技术领域，具体涉及一种上下料装置及上下料方法。

背景技术

目前，晶圆的主要加工方式为片加工的方式，在对晶圆进行加工的时候，需要夹持或吸附晶圆以对晶圆进行转移，使晶圆在不同位置进行不同操作。但是，现有的夹持装置或吸附装置在使用的时候，移动较为复杂，在保证较高移动精度时，需要使用大量的设备来实现移动操作，相应设备成本较高。

如在使用气缸等成本相对较低的设备驱动夹持装置移动时，由于气量精确控制的难度大，活塞杆顶出长度无法精确控制，也就无法实现较高精度的移动。

而如何在对晶圆的上下料操作时，能够在实现精准控制的同时，简化整体结构并降低成本，是本领域技术人员所需要解决的技术问题。

发明内容

本申请的目的是提供一种上下料装置及上下料方法，在对晶圆的上下料操作时，能够在实现精准控制的同时，简化整体结构并降低成本。

为解决上述技术问题，本申请提供一种上下料装置，包括机架、伸缩部及上下料机构，所述上下料机构包括用于固定工件的固定部；所述伸缩部包括两个沿伸缩方向依次连接并相互独立的伸缩件，所述伸缩部的一端与所述机架连接，所述伸缩部的另一端与所述上下料机构连接。

伸缩部包括沿伸缩方向依次连接的两个伸缩件，伸缩部的一端与机架连接，伸缩部的另一端与上下料机构连接。不难理解，两个伸缩件都是可以伸缩的结构，沿伸缩方向依次连接时，这两个伸缩件的伸缩情况能够叠加。两个伸缩件的伸缩情况彼此独立，每个伸缩件分别包括未伸和全伸两个状态，伸缩部通过这两个伸缩件叠加后，可以带动上下料机构移动至四个不同位置。

由于仅使用了伸缩件在未伸和全伸两个状态，因此，通过两个伸缩件实现四个不同伸缩位置，无需由于精确控制伸缩而所需的复杂程序，结构简单、可靠且成本较低，并可有效保证各伸缩位置的精度。从而能够精准控制通过上下料机构对晶圆的上下料的操作。

可选地，所述机架沿伸缩方向还布置有第一滑轨；还包括第一连接件及能够沿所述第一滑轨滑动的第一滑块，所述第一连接件分别与所述第一滑块、所述伸缩部的底端及所述上下料机构连接。

可选地，所述第一连接件呈L形结构并包括第一板体和第二板体，所述第一板体与所述第一滑块固定，所述第二板体与所述上下料机构以及所述伸缩部的底端固定。

可选地，所述机架还设有第二滑轨，所述第二滑轨与所述第一滑轨垂直布置；还包括驱动件和第二连接件，所述第二连接件设有所述第一滑轨和第二滑块，所述驱动件能够驱动所述第二滑块沿所述第二滑轨滑动；所述伸缩部的顶端与所述第二连接件固定。

可选地，所述伸缩件为气缸，且两个所述气缸的气路彼此独立。

可选地，两个所述气缸的活塞杆连接，一个所述气缸的缸体与所述机架连接，另一个所述气缸的缸体与所述上下料机构连接。

可选地，两个所述气缸的活塞杆分别设有连接块，两个所述连接块之间通过侧边连接板固定。

可选地，所述上下料机构包括夹爪和吸盘，所述夹爪用于抓取所述工件，所述吸盘用于吸附所述工件。

本申请还提供了一种上下料方法，基于如上所述的上下料装置，所述上下料装置的两个伸缩件分别为第一伸缩件和第二伸缩件；所述上下料方法包括如下步骤：

S1：第一伸缩件未伸出，第二伸缩件伸出，上下料机构的固定部位于第一位置，并与位于第一放置区上的工件固定；