[发明专利]一种新型高反射异质结电池器件结构及工艺在审

专利信息
申请号: 202211469904.X 申请日: 2022-11-22
公开(公告)号: CN115763604A 公开(公告)日: 2023-03-07
发明(设计)人: 张梦维;高勇 申请(专利权)人: 中建材浚鑫科技有限公司
主分类号: H01L31/054 分类号: H01L31/054;H01L31/0216;H01L31/0224;H01L31/056;H01L31/20
代理公司: 无锡智睿风行知识产权代理事务所(普通合伙) 32631 代理人: 凤婷
地址: 214000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 反射 异质结 电池 器件 结构 工艺
【权利要求书】:

1.一种新型高反射异质结电池器件结构,其特征在于:包括硅片,在所述硅片的正面设置有上电极层,在所述硅片的背面设置有下电极层;

所述上电极层包括连接于所述硅片正面的第一薄膜层、连接于所述第一薄膜层的第二薄膜层;

所述下电极层包括连接于所述硅片背面的第三薄膜层、连接于所述第三薄膜层的第四薄膜层。

2.根据权利要求1所述的一种新型高反射异质结电池器件结构,其特征在于:所述第一薄膜层采用复合TCO薄膜结构,所述第二薄膜层采用复合TCO薄膜结构,所述第三薄膜层采用ITO薄膜,所述第四薄膜层采用铝薄膜。

3.一种新型高反射异质结电池器件工艺,其特征在于:所述制备方法应用于如权利要求1所述的一种新型高反射异质结电池器件结构,包括以下步骤:

步骤S1:将硅片清洗制绒后,在正面依次沉积本征非晶硅层和n型掺杂非晶硅层,在下表面依次沉积本征非晶硅层和p型掺杂非晶硅层;

步骤S2:在n型非晶硅上沉积所述第一薄膜层,在所述第一薄膜层上方沉积所述第二薄膜层;在p型非晶硅薄膜上沉积所述第三薄膜层,在所述第三薄膜层上镀所述第四薄膜层;

步骤S3:在所述第二薄膜层和所述第四薄膜层上分别印刷栅线,得到复合结构的异质结电池。

4.根据权利要求3所述的一种新型高反射异质结电池器件工艺,其特征在于:所述第一薄膜层采用IWO薄膜,所述第二薄膜层采用ITO-1薄膜,所述第三薄膜层采用ITO-2薄膜,所述第四薄膜层采用铝薄膜。

5.根据权利要求4所述的一种新型高反射异质结电池器件工艺,其特征在于:所述第一薄膜层的功函数为5.1-5.4eV。

6.根据权利要求5所述的一种新型高反射异质结电池器件工艺,其特征在于:所述第二薄膜层的功函数为4.2-4.7eV;所述第三薄膜层的功函数为4.2-4.7eV。

7.根据权利要求6所述的一种新型高反射异质结电池器件工艺,其特征在于:所述第四薄膜层的功函数为4.28eV。

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