[发明专利]一种新型高反射异质结电池器件结构及工艺在审
申请号: | 202211469904.X | 申请日: | 2022-11-22 |
公开(公告)号: | CN115763604A | 公开(公告)日: | 2023-03-07 |
发明(设计)人: | 张梦维;高勇 | 申请(专利权)人: | 中建材浚鑫科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/054 | 分类号: | H01L31/054;H01L31/0216;H01L31/0224;H01L31/056;H01L31/20 |
代理公司: | 无锡智睿风行知识产权代理事务所(普通合伙) 32631 | 代理人: | 凤婷 |
地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 反射 异质结 电池 器件 结构 工艺 | ||
1.一种新型高反射异质结电池器件结构,其特征在于:包括硅片,在所述硅片的正面设置有上电极层,在所述硅片的背面设置有下电极层;
所述上电极层包括连接于所述硅片正面的第一薄膜层、连接于所述第一薄膜层的第二薄膜层;
所述下电极层包括连接于所述硅片背面的第三薄膜层、连接于所述第三薄膜层的第四薄膜层。
2.根据权利要求1所述的一种新型高反射异质结电池器件结构,其特征在于:所述第一薄膜层采用复合TCO薄膜结构,所述第二薄膜层采用复合TCO薄膜结构,所述第三薄膜层采用ITO薄膜,所述第四薄膜层采用铝薄膜。
3.一种新型高反射异质结电池器件工艺,其特征在于:所述制备方法应用于如权利要求1所述的一种新型高反射异质结电池器件结构,包括以下步骤:
步骤S1:将硅片清洗制绒后,在正面依次沉积本征非晶硅层和n型掺杂非晶硅层,在下表面依次沉积本征非晶硅层和p型掺杂非晶硅层;
步骤S2:在n型非晶硅上沉积所述第一薄膜层,在所述第一薄膜层上方沉积所述第二薄膜层;在p型非晶硅薄膜上沉积所述第三薄膜层,在所述第三薄膜层上镀所述第四薄膜层;
步骤S3:在所述第二薄膜层和所述第四薄膜层上分别印刷栅线,得到复合结构的异质结电池。
4.根据权利要求3所述的一种新型高反射异质结电池器件工艺,其特征在于:所述第一薄膜层采用IWO薄膜,所述第二薄膜层采用ITO-1薄膜,所述第三薄膜层采用ITO-2薄膜,所述第四薄膜层采用铝薄膜。
5.根据权利要求4所述的一种新型高反射异质结电池器件工艺,其特征在于:所述第一薄膜层的功函数为5.1-5.4eV。
6.根据权利要求5所述的一种新型高反射异质结电池器件工艺,其特征在于:所述第二薄膜层的功函数为4.2-4.7eV;所述第三薄膜层的功函数为4.2-4.7eV。
7.根据权利要求6所述的一种新型高反射异质结电池器件工艺,其特征在于:所述第四薄膜层的功函数为4.28eV。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的