[发明专利]基板承载结构以及基板检测装置

权利要求书

1.一种基板承载结构，其特征在于，用以承载基板，所述基板承载结构包括：

载台，所述载台具有承载面，其中至少一个容置槽形成于所述承载面上并围绕所述载台的中心；以及

至少一个弹性支撑部件，至少一个所述弹性支撑部件设置于对应的至少一个所述容置槽内，且至少一个所述弹性支撑部件突出于所述承载面；

其中，所述基板接触至少一个所述弹性支撑部件，以形成至少一个密闭空间，并使至少一个所述弹性支撑部件产生变形并位于所述承载面之下。

2.根据权利要求1所述的基板承载结构，其特征在于，至少一个所述弹性支撑部件突出于所述承载面的高度范围介于1毫米至10毫米之间。

3.根据权利要求1所述的基板承载结构，其特征在于，至少一个所述弹性支撑部件包括：

定位元件，所述定位元件套设于所述容置槽内；以及

弯折元件，所述弯折元件具有上支撑部与下支撑部，其中所述下支撑部连接于所述定位元件与所述上支撑部，而所述上支撑部用于支撑所述基板；

其中，所述上支撑部的长度大于所述下支撑部的长度，当所述支撑部件位于所述承载面之下时，以增加支撑所述基板的区域。

4.根据权利要求3所述的基板承载结构，其特征在于，所述上支撑部更包括延伸部，当所述支撑部件位于所述承载面之下时，用以增加支撑所述基板的区域。

5.根据权利要求3所述的基板承载结构，其特征在于，所述弯折元件的一端与另一端形成预定夹角，其中当所述弯折元件呈所述展开状时，所述预定夹角大于或等于90度，而当所述弯折元件呈所述收合状时，所述预定夹角小于90度。

6.根据权利要求1所述的基板承载结构，其特征在于，所述承载面包括：

至少一个吸附区，至少一个所述吸附区的范围由对应的所述容置槽所界定；

中心通道，所述中心通道位于所述载台的中心，且贯穿所述载台的本体；以及

至少一个流道区域，至少一个流道区域对应于至少一个所述吸附区，其中至少一个所述流道区域的范围由对应的所述吸附区所界定。

7.根据权利要求6所述的基板承载结构，其特征在于，所述中心通道与至少一个所述吸附区连接至外部真空源，用以产生吸附力，使所述基板被吸附于所述弹性支撑部件上。

8.一种基板检测装置，其特征在于，用以检测基板，所述基板检测装置包括：

载台，所述载台具有承载面，以置放所述基板，其中至少一个容置槽形成于所述承载面上并围绕所述载台的中心；

至少一个弹性支撑部件，至少一个所述弹性支撑部件设置于对应的至少一个所述容置槽内，且至少一个所述弹性支撑部件突出于所述承载面；

图像撷取装置，所述图像撷取装置撷取所述承载面上的所述基板的图像；以及

检测装置，所述检测装置耦合至所述图像撷取装置，所述检测装置分析所述基板的图像，以产生检测结果；

其中，所述基板接触至少一个所述弹性支撑部件，以形成至少一个密闭空间，并使至少一个所述弹性支撑部件产生变形并位于所述承载面之下。

9.根据权利要求8所述的基板检测装置，其特征在于，至少一个所述弹性支撑部件突出于所述承载面的高度范围介于1毫米至10毫米之间。

10.根据权利要求8所述的基板检测装置，其特征在于，所述弹性支撑部件包括：

定位元件，所述定位元件套设于所述容置槽内；以及

弯折元件，所述弯折元件具有上支撑部与下支撑部，其中所述下支撑部连接于所述定位元件与所述上支撑部，而所述上支撑部用于支撑所述基板；

其中，所述上支撑部的长度大于所述下支撑部的长度，当所述支撑部件位于所述承载面之下时，以增加支撑所述基板的区域。

11.根据权利要求10所述的基板检测装置，其特征在于，所述上支撑部更包括延伸部，当所述支撑部件位于所述承载面之下时，用以增加支撑所述基板的区域。

12.根据权利要求10所述的基板检测装置，其特征在于，所述弯折元件的一端与另一端形成预定夹角，其中当所述弯折元件呈所述展开状时，所述预定夹角大于或等于90度，而当所述弯折元件呈所述收合状时，所述预定夹角小于90度。