[发明专利]一种聚酰亚胺包覆的金属磁粉芯及其制备方法

权利要求书

1.一种聚酰亚胺包覆的金属磁粉芯的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、对金属软磁粉末进行还原退火，冷却后超声清洗并干燥；

步骤2、对经步骤1处理的金属软磁粉末采用原子层沉积技术进行绝缘包覆，获得绝缘包覆的金属软磁粉末；所述原子层沉积技术采用均苯四甲酸二酐和乙二胺作为前驱体，氮气为前驱体的载气和脉冲吹扫气，沉积温度为150～200℃，前驱体载气分压为0.1～1.0torr，脉冲之间吹扫气分压为10～20torr，脉冲吹扫气的时间为30～120s；

步骤3、将步骤2所得的绝缘包覆的金属软磁粉末干燥，与有机硅树脂和丙酮混匀至丙酮挥发完全，压制成生坯，退火热处理，获得聚酰亚胺包覆的金属磁粉芯。

2.如权利要求1所述的聚酰亚胺包覆的金属磁粉芯的制备方法，其特征在于，步骤1中所述金属软磁粉末为纯铁粉、铁硅合金粉末、铁硅铝合金粉末、铁硅铝镍合金粉末、铁镍合金粉末、铁基非晶合金粉末和铁基纳米晶合金粉末中的一种或多种。

3.如权利要求1所述的聚酰亚胺包覆的金属磁粉芯的制备方法，其特征在于，所述包括以下各项中至少一项：

步骤1中所述还原退火在惰性气体保护下进行；

步骤1中所述还原退火的退火温度为300-900℃，退火时间为1-3h；

步骤1中所述超声清洗时间为10-60min；

步骤1中所述超声清洗先采用丙酮清洗，再采用无水乙醇清洗；

步骤1中所述干燥温度为70-90℃，干燥时间为1-5h。

4.如权利要求1所述的聚酰亚胺包覆的金属磁粉芯的制备方法，其特征在于，步骤2中所述绝缘包覆采用原子层沉积技术，具体包括以下步骤：将金属软磁粉末置入流化反应腔体，以20～100sccm的氮气通过3～10秒将均苯四甲酸二酐载入反应腔体，然后以同样流量的氮气脉冲吹扫60s，再以20～100sccm的氮气通过3～10秒将乙二胺载入反应腔体，最后以同样流量的氮气脉冲吹扫60s为一个循环；如此重复完成100-1000个循环，获得绝缘包覆的金属软磁粉末。

5.如权利要求1所述的聚酰亚胺包覆的金属磁粉芯的制备方法，其特征在于，包含以下各项中至少一项：

步骤2中所述均苯四甲酸二酐的纯度≥99％；

步骤2中所述乙二胺的纯度≥99％；

步骤2中所述氮气的纯度≥99.999％。

6.如权利要求1所述的聚酰亚胺包覆的金属磁粉芯的制备方法，其特征在于，包括以下各项中至少一项：

步骤3中所述干燥温度为60-100℃，干燥时间为1-5h；

步骤3中所述金属软磁粉末、有机硅树脂和丙酮的质量比为软磁粉末：有机硅树脂：丙酮＝100：0.5-4：20-50；

步骤3中所述压制的成型压力为1500-2000MPa，保压时间为10-20s；

步骤3中所述退火热处理在真空或惰性气体下进行，处理温度为200-500℃，处理时间为1-3h。

7.一种聚酰亚胺包覆的金属磁粉芯，其特征在于，通过权利要求1-6任一项所述制备方法制备得到。