[发明专利]一种改善超重掺B衬底外延后WARP的工艺方法

权利要求书

1.一种改善超重掺B衬底外延后WARP的工艺方法，其特征在于：其改善工艺方法包括以下步骤：

S1、首先在进行超重掺Ph衬底外延加工前，需要对超重掺Ph衬底外延生长系统进行腐蚀和基座包硅处理，并且需要对超重掺Ph衬底表面进行前抛光处理，去除超重掺Ph衬底表面残留的局部瑕疵和不平整处；

S2、其次需要将超重掺Ph衬底放入的加热设备内部，进行实时升温到一定范围值的温度区域内，向炉内通入大流量氢气，用化学气相沉积法生长一层本征外延层，再次通入大流量氢气冲洗，进行第二阶段的生长，直到外延层的厚度达到要求；

S3、最后在超重掺Ph衬底外延层生长时，进行实时调节衬底外延生长时超重掺Ph衬底外延生长系统的温度，使得超重掺Ph衬底外延加工过程始终保持高温环境，在超重掺Ph衬底外延生长时，CAP层生长和外延层生长使用相同的掺杂工，进而实现对超重掺Ph衬底外沿进行实时加工。

2.根据权利要求1所述的一种改善超重掺B衬底外延后WARP的工艺方法，其特征在于：所述加热设备内部升温的范围区域值为20至30摄氏度左右，且加热升温的时间为30秒。

3.根据权利要求1所述的一种改善超重掺B衬底外延后WARP的工艺方法，其特征在于：所述加热设备内部加热升温过程通入的氢气量与超重掺Ph衬底的量之间的比例为70:1。