[发明专利]一种利用双焦距透镜准直的半导体激光合束装置在审
申请号: | 202211201010.2 | 申请日: | 2022-09-29 |
公开(公告)号: | CN115621834A | 公开(公告)日: | 2023-01-17 |
发明(设计)人: | 郑婉华;李彤彤;周旭彦;张伟桥;张建心;司婷玉;江一 | 申请(专利权)人: | 潍坊先进光电芯片研究院;中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S5/02253 | 分类号: | H01S5/02253;H01S5/02326;H01S5/0239;H01S5/024 |
代理公司: | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人: | 张冉冉 |
地址: | 262400 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 利用 焦距 透镜 半导体 激光 束装 | ||
本发明提供了一种利用双焦距透镜准直的半导体激光合束装置,包括高度依次增加的阶梯热沉、数组双发光点半导体激光器、数个双焦距准直透镜、数个反射棱镜、偏振合束棱镜和聚焦镜;每组双发光点半导体激光器含有两个发光单元,每个发光单元由一个双焦距准直透镜进行快慢轴同时准直,每组双焦距准直透镜由一个反射镜反射,上述个光学元件均设置于快轴方向高度依次增加的阶梯热沉上,经反射镜反射后进行空间合束,之后再利用偏振合束棱镜实现偏振合束,最后由聚焦镜聚焦耦合至光纤。本发明的有益效果:将多个单管激光器合束,组成半导体激光器光纤耦合模块,尽可能多地增加多单管合束光纤耦合模块的发光单元的数量,能够获得更高效率和更高亮度。
技术领域
本发明涉及激光技术领域,尤其涉及一种利用双焦距透镜准直的半导体激光合束装置。
背景技术
近几十年来,大功率半导体激光器被广泛地应用到激光材料加工、激光信息处理、激光生物学及医学、激光印刷、通讯、激光化学、激光检测与计量以及国防安全等方面。在需求更高功率的情况下,为了保持高光束质量,就必须进行激光合束。
激光合束是将多束单元激光耦合成一束的过程,利用光学元件的折射、反射及衍射效应,为了实现提高输出功率、增加激光亮度的目的。其中,单管半导体激光器相对于激光巴条,散热性好,亮度高、成本低,可靠性好,而且无“smile 效应”,光束质量好,所以光纤耦合模块多采用多单管合束。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是,提供了一种利用双焦距透镜准直的半导体激光合束装置,增加多单管合束光纤耦合模块的发光单元数量,以获得高功率和高亮度的半导体激光器模块。
本发明是通过以下技术方案实现的:
本发明的利用双焦距透镜准直的半导体激光合束装置,该装置包括了两种结构。
第一种结构,热沉没有成对出现。
该利用双焦距透镜准直的半导体激光合束装置,包括高度依次增加的阶梯热沉、数组双发光点半导体激光器、数个双焦距准直透镜、数个反射棱镜、偏振合束棱镜和聚焦镜;阶梯热沉为在快轴方向高度依次增加的若干层台面,在每一层台面上焊接双发光点半导体激光器,再依次装调双焦距准直透镜、反射棱镜或交叠薄反射镜,在最低层台面上装调聚焦镜;双发光点半导体激光器每组含有两个发光单元,即在慢轴方向排列两个光斑;双焦距准直透镜设置于每个发光单元前,对光束进行快慢轴同时准直;每两个双焦距准直透镜粘贴为一组,对一个双发光点半导体激光器的两个发光单元进行准直;反射镜设置于每组双焦距准直透镜前,与光路传播方向成45°倾斜,对光路进行反射,进行空间合束。
进一步地,阶梯热沉上焊接双发光点半导体激光器,再依次装调双焦距准直透镜和反射棱镜,阶梯热沉分两个,朝向相互垂直。
当有两个热沉垂直布置时,偏振合束棱镜设置于两组合束光路交点处,以实现偏振合束。
进一步地,半波片,设置于其中一个阶梯热沉前方,在偏振合束镜面向其中一组光路的面上粘贴半波片,接收阶梯热沉上反射棱镜的反射激光,使反射激光的偏振态旋转。
进一步地,聚焦镜设置于偏振合束镜前,使光束聚焦耦合至光纤。
进一步地,双发光点半导体激光器包括半导体激光芯片和热沉两个部分,激光芯片每个有两个发光单元,两个发光单元的边缘间隔为0.1mm。
进一步地,双焦距准直透镜材料为S-TIH53,前端面为双锥面,快慢轴方向有不同的曲率半径;后端面为凸面镜,在慢轴方向有曲率,以对慢轴光束进行二次准直;每两个双焦距准直透镜为一组,对一个双发光点半导体激光器的两个发光单元进行准直,焦距为0.1mm。
进一步地,反射镜镀高反膜,设置于每组双焦距准直透镜前,与光路传播方向成45°倾斜,对光路进行反射,进行空间合束。
进一步地,聚焦镜为非球面透镜,设置于偏振合束镜前,使光束聚焦耦合至光纤。
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