[发明专利]一种新型高密度封装基板中心层结构的制作方法在审
申请号: | 202211110889.X | 申请日: | 2022-09-13 |
公开(公告)号: | CN115621131A | 公开(公告)日: | 2023-01-17 |
发明(设计)人: | 环珣 | 申请(专利权)人: | 苏州芯唐格电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;B29C43/18 |
代理公司: | 深圳知帮办专利代理有限公司 44682 | 代理人: | 谢金文 |
地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 高密度 封装 中心 结构 制作方法 | ||
1.一种新型高密度封装基板中心层结构的制作方法,其特征在于该方法包括以下步骤:
S1、制备基板,基板通常采用不锈钢作为临时基板;
S2、覆铜层,在临时基板上通过粘接剂粘接一层铜层;
S3、电镀铜柱;在铜层上电镀若干个铜柱,
S4、压膜,将铜柱间注入粉状介电料;
S5、机械剥离模具,形成产品。
2.如权利要求1所述的新型高密度封装基板中心层结构的制作方法,其特征在于S2步骤中,通过物理压合的方式,将铜层、粘接剂及临时基板稳定地固定在一起。
3.如权利要求2所述的新型高密度封装基板中心层结构的制作方法,其特征在于S2步骤中,所述粘接剂可以为一种热解胶,可以在一定高温下降低粘性,从而实现分离,也可以是一类覆铜层侧低粘度,临时基板侧高粘度的粘合剂。
4.如权利要求1所述的新型高密度封装基板中心层结构的制作方法,其特征在于S4中,压膜采用固态粉状介电料,通过机械撒料,均匀的分布在产品表面,然后采用磨具下压的方式,介电塑封料液化后再固化的过程,介电膜不会流动,从而形成平整的介电层,同时铜柱的结构也不会产生形变。
5.如权利要求4所述的新型高密度封装基板中心层结构的制作方法,其特征在于S4中,所述粉状介电料采用一种封装的环氧树脂体系的塑封料,其填充料为1~55um的二氧化硅。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造