[发明专利]用于真空镀膜设备的阴极组件及其真空镀膜设备

权利要求书

1.一种用于真空镀膜设备的阴极组件，其特征在于：包括第一金属导电件(3)，与至少一个电源配电器(5)连接，所述第一金属导电件(3)为呈散射状的金属片，包括均匀分布的多个分片(34)，任一所述分片(34)上至少设有一个连接点，用于与第二金属导电件(2)连接，所述第二金属导电件(2)远离所述分片(34)的一端均连接电极板(1)，以实现多点功率馈入所述电极板(1)。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜设备的阴极组件，其特征在于：还包括第三金属导电片(4)和弹性导电件(11)，所述第一金属导电件(3)通过所述第三金属导电件(4)与所述电源配电器(5)连接，所述第二金属导电件(2)通过所述弹性导电件(11)连接于所述电极板(1)。

3.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜设备的阴极组件，其特征在于：所述第一金属导电件(3)和所述第三金属导电件(4)为铜片，所述第二金属导电件(2)为铜杆件，所述铜片和所述铜杆件表面涂有防氧化层。

4.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜设备的阴极组件，其特征在于：所述第二金属导电件(2)环绕所述第一金属导电件(3)的中心均匀布设，任一所述分片(34)上还设有U型结构(33)。

5.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜设备的阴极组件，其特征在于：所述电源配电器(5)设有两个，使用的电源频率为高频电源范围3～30MHz，甚高频范围30～300MHz。

6.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1-5任一所述权利要求中的真空镀膜设备的阴极组件。

7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，包括一腔体(100)，所述腔体(100)上方设有上盖(7)，所述上盖(7)上方设有第一护罩(8)，所述第一护罩(8)上方设有第二护罩(9)，所述电极板(1)设于所述腔体(100)内，所述第一金属导电件(3)位于所述第一护罩(8)内，所述上盖(7)上设有贯穿孔(71)，所述第二金属导电件(2)穿过所述贯穿孔(71)连接于所述电极板(1)，所述电源配电器(5)设于所述第二护罩(9)内。

8.根据权利要求7所述的一种真空镀膜设备，其特征在于：所述第二金属导电件(2)套设有绝缘热缩管(12)，所述第一金属导电件(3)通过绝缘支撑架(10)架设在所述上盖(7)上方，所述腔体内侧靠近所述电极板(1)部分设有绝缘板(6)。

9.根据权利要求7所述的一种真空镀膜设备，其特征在于，所述电极板(1)与所述第一金属导电件(3)平行设置，沿第一方向，所述电极板(1)投影尺寸范围为正方形，边长为1m～4m。

10.根据权利要求7所述的一种真空镀膜设备，所述第一护罩(8)的一侧连接有进气风扇(81)，另一侧连接有排风风扇(82)。