[发明专利]一种薄面铜的HDI脉冲填盲孔系统

权利要求书

1.一种薄面铜的HDI脉冲填盲孔系统，其特征在于：包括电镀箱、药水腔、三价铁离子削减装置、高压喷淋装置和低压喷淋装置，所述三价铁离子削减装置连接在高压喷淋装置上，所述高压喷淋装置和低压喷淋装置的输出部均设置在电镀箱内，所述高压喷淋装置和低压喷淋装置的输入部均与药水腔连通。

2.根据权利要求1所述的一种薄面铜的HDI脉冲填盲孔系统，其特征在于：所述高压喷淋装置和低压喷淋装置的输出部呈交替设置。

3.根据权利要求1所述的一种薄面铜的HDI脉冲填盲孔系统，其特征在于：所述高压喷淋装置包括泵送系统一和多根呈线性排列的喷射管，多根所述喷射管均位于电镀箱内且均通过泵送系统一与药水腔连通。

4.根据权利要求3所述的一种薄面铜的HDI脉冲填盲孔系统，其特征在于：所述泵送系统一包括管道一以及均连接在所述管道一上的液泵一、流量控制阀一、数字流量计一和喷流总管一。

5.根据权利要求3所述的一种薄面铜的HDI脉冲填盲孔系统，其特征在于：所述喷射管上设有多个喷嘴一，多个所述喷嘴一沿喷射管的轴向线性排列。

6.根据权利要求1所述的一种薄面铜的HDI脉冲填盲孔系统，其特征在于：所述低压喷淋装置包括泵送系统二和多根呈线性排列的喷淋管，多根所述喷淋管均位于电镀箱内且均通过泵送系统二与药水腔连通。

7.根据权利要求6所述的一种薄面铜的HDI脉冲填盲孔系统，其特征在于：所述泵送系统二包括管道二以及均连接在所述管道二上的液泵二、流量控制阀二、数字流量计二和喷流总管二。

8.根据权利要求6所述的一种薄面铜的HDI脉冲填盲孔系统，其特征在于：所述喷淋管上设有多个喷嘴二，多个所述喷嘴二沿喷淋管的轴向线性排列。

9.根据权利要求8所述的一种薄面铜的HDI脉冲填盲孔系统，其特征在于：相邻所述喷淋管上的喷嘴二呈错位设置。