[发明专利]涂布装置、液滴喷出检查方法

说明书

抑制被喷出至检查用介质的液滴的干燥，而适当地进行液滴检查的方法。实施方式的涂布装置利用从喷墨式的涂布头喷出的涂布液在基板上形成涂布膜，所述涂布装置包括：涂布头，对检查用介质喷出涂布液；液滴拍摄部，对从涂布头喷出的、检查用介质上的涂布液的液滴进行拍摄；以及控制装置，基于由液滴拍摄部获得的拍摄图像来求出液滴的面积，并基于所述液滴的面积来进行对喷嘴施加的喷出电压的控制，液滴拍摄部包括：罩，覆盖由从涂布头的各喷嘴喷出至检查用介质上的涂布液所形成的液滴喷出区域；以及摄像机，设在罩的上方，能够经由罩来拍摄检查用介质上的液滴，罩与摄像机设置为，能够作为一体而升降且能够与检查用介质相对地移动。

技术领域

本发明的实施方式涉及一种涂布装置、液滴喷出检查方法。

背景技术

以往，作为使用功能液来对基板涂布功能性薄膜的装置，已知有使功能液成为液滴而喷出至基板的喷墨方式的液滴喷出装置。液滴喷出装置例如在制造有机电致发光(Electroluminescence，EL)装置、彩色滤光片、液晶显示装置、等离子体显示器、电子放出装置等的电光学装置等时得到广泛使用。

液滴喷出装置中，有时喷出液滴的喷墨方式的涂布头的每个喷嘴喷出的液滴量会存在偏差，或者存在完全不喷出液滴的喷嘴。因此，在从涂布头对基板喷出功能液的液滴之前，检查液滴喷出的良否。具体而言，从涂布头对检查用的介质喷出液滴，对其进行拍摄，并对拍摄图像进行图像处理，由此来测量液滴的面积，以检查涂布头的喷出喷嘴的喷出良否。基于这样得到的喷出喷嘴的检查数据来控制涂布头的喷嘴的喷出量，抑制了液滴量的偏差后，进行向作为最终制品的基板的功能液的喷出。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2010-131562号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

但是，在喷嘴的喷出检查中，由于摄像机的数量有限，因此在从涂布头喷出检查用的液滴后，摄像机无法拍摄所有的液滴，而是将应拍摄的区域划分为多个区域，使摄像机对所述多个区域进行扫描而依次拍摄。在像这样依次拍摄液滴的情况下，在对其中一个区域进行拍摄的期间，在另一个区域中，液滴的干燥正在推进。当干燥推进时，液滴的面积将变小。即，越往后拍摄的区域，着落之后的液滴面积与进行拍摄的时间点的液滴面积之差便越大。

本发明的实施方式是有鉴于如上所述的情况而完成，目的在于抑制被喷出至检查用介质的液滴的干燥，而适当地进行液滴检查。

[解决问题的技术手段]

实施方式的涂布装置利用从包括多个喷嘴的喷墨式的涂布头喷出的涂布液在基板上形成涂布膜，所述涂布装置的特征在于包括：所述涂布头，对检查用介质喷出所述涂布液；液滴拍摄部，对从所述涂布头喷出的、所述检查用介质上的所述涂布液的液滴进行拍摄；以及控制装置，基于由所述液滴拍摄部获得的拍摄图像来求出液滴的面积，并基于所述液滴的面积来进行对所述喷嘴施加的喷出电压的控制，所述液滴拍摄部包括：罩，覆盖由从所述涂布头的各喷嘴喷出至所述检查用介质上的所述涂布液所形成的液滴喷出区域；以及摄像机，设在所述罩的上方，能够经由所述罩来拍摄所述检查用介质上的所述液滴，所述罩与所述摄像机设置为，能够作为一体而升降且能够与所述检查用介质相对地移动。

实施方式的液滴喷出检查方法的特征在于，其是对从包括多个喷嘴的喷墨式的涂布头喷出的液滴的喷出良否进行检查的方法，所述液滴喷出检查方法包括下述工序：从所述多个喷嘴对检查用介质喷出涂布液；拍摄所述检查用介质上的所述涂布液的液滴；以及基于所拍摄的所述液滴的图像来求出所述液滴的面积，并基于所述液滴的面积来进行对所述喷嘴施加的喷出电压的控制，所述液滴的拍摄是利用罩来覆盖由所述检查用介质上的液滴所形成的液滴喷出区域，且一边使跟所述罩经一体化的摄像机与所述检查用介质相对移动，一边经由所述罩来拍摄所述检查用介质上的所述液滴。

[发明的效果]