[发明专利]一种半导体石英晶圆空间角度一体化精密调节装置

权利要求书

1.一种半导体石英晶圆空间角度一体化精密调节装置，其特征在于：包括固定座(4)和调节座(1)，所述固定座(4)与调节座(1)之间设置有支撑球(3)和若干弹簧，所述若干弹簧的两端分别与固定座(4)和调节座(1)固定连接，所述支撑球(3)的上端和下端分别抵靠于调节座(1)和固定座(4)上，所述若干弹簧均处于拉伸状态，所述调节座(1)上设置有调节螺钉，所述调节螺钉与调节座(1)通过螺纹连接，所述调节螺钉的螺柱部分抵靠在固定座(4)上。

2.根据权利要求1所述的一种半导体石英晶圆空间角度一体化精密调节装置，其特征在于：所述固定座(4)和调节座(1)上均设置有用于对支撑球(3)定位的圆形凹槽，所述圆形凹槽上至少有一个圆与支撑球(3)的球面相切。

3.根据权利要求2所述的一种半导体石英晶圆空间角度一体化精密调节装置，其特征在于：所述圆形凹槽的面为球形面，所述球形面的半径与支撑球(3)的半径相同。

4.根据权利要求1所述的一种半导体石英晶圆空间角度一体化精密调节装置，其特征在于：所述调节螺钉有三个，三个所述调节螺钉与支撑球(3)形成调节座(1)与固定座(4)之间的四个支撑点，所述四个支撑点的连线为四边形。

5.根据权利要求4所述的一种半导体石英晶圆空间角度一体化精密调节装置，其特征在于：所述四边形为正方形，正方形以所述支撑球(3)所在的对角线为基准线，所述基准线两侧的弹簧对称设置。

6.根据权利要求5所述的一种半导体石英晶圆空间角度一体化精密调节装置，其特征在于：所述固定座(4)和调节座(1)在俯视视角下的形状为正方形，并且在俯视视角下，所述支撑球(3)和三个所述调节螺杆分别位于固定座(4)和调节座(1)的四个角所在的位置。

7.根据权利要求6所述的一种半导体石英晶圆空间角度一体化精密调节装置，其特征在于：在俯视视角下，所述支撑球(3)和三个所述调节螺钉均位于固定座(4)和调节座(1)的对角线上。

8.根据权利要求1所述的一种半导体石英晶圆空间角度一体化精密调节装置，其特征在于：所述固定座(4)上设置有垫块(5)，所述垫块(5)上设置有滑槽(13)，所述调节螺钉的尖端抵靠在滑槽(13)的槽底。

9.根据权利要求1所述的一种半导体石英晶圆空间角度一体化精密调节装置，其特征在于：所述调节座(1)上设置有螺套(6)，所述螺套(6)上设置有螺孔，所述螺套(6)与调节座(1)固定连接，螺套(6)上的螺孔用于与调节螺钉连接。