[发明专利]一种晶圆用覆膜装置及其方法

权利要求书

1.一种晶圆用覆膜装置，包括底座（1）、支撑架（11）和通孔（18），所述支撑架（11）安装在底座（1）的上端，所述通孔（18）开设在底座（1）的右端内壁，其特征在于，还包括：

用于对晶圆压膜的按压组件（2），所述按压组件（2）安装在支撑架（11）上；

用于对刀片横向调节的定位组件（3），所述定位组件（3）安装在支撑架（11）的上端；

按压组件（2）包括对按压辊轮移动的移动组件（4），所述移动组件（4）安装在按压组件（2）上；

用于对晶圆膜切割的切膜组件（5），所述切膜组件（5）安装在支撑架（11）的上端。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆用覆膜装置，其特征在于：所述按压组件（2）包括电机二（21）、导杆一（211）和丝杆一（25），所述丝杆一（25）转动安装在支撑架（11）下端内侧，所述电机二（21）安装在支撑架（11）的左端，所述电机二（21）输出端连接丝杆一（25），所述导杆一（211）安装在支撑架（11）下端内侧。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆用覆膜装置，其特征在于：所述导杆一（211）外壁滑动安装滑块（23），所述滑块（23）上端安装电机三（22），所述电机三（22）输出端安装转杆（221），所述转杆（221）的侧端安装支撑杆二（222），所述支撑杆二（222）的下端转动安装有按压轮（223）。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆用覆膜装置，其特征在于：所述移动组件（4）包括支撑块二（41）和电机五（42），所述支撑块二（41）内侧螺纹连接丝杆一（25），所述支撑块二（41）的上端安装电机五（42），所述支撑块二（41）和滑块（23）内侧均转动安装有支撑轴（26），所述支撑轴（26）内侧安装按压辊轮（24），所述支撑轴（26）外壁安装有齿轮二（44），所述电机五（42）输出端连接齿轮一（43），所述齿轮一（43）下端啮合连接齿轮二（44）。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆用覆膜装置，其特征在于：所述定位组件（3）包括电机四（31）、丝杆二（33）和导杆二（34），所述丝杆二（33）转动安装在支撑架（11）上端内侧，所述导杆二（34）安装在支撑架（11）上端内侧，所述电机四（31）安装在支撑架（11）的左上端，所述电机四（31）输出端连接丝杆二（33），所述丝杆二（33）上螺纹安装支撑座（35），所述支撑座（35）滑动连接导杆二（34），所述支撑座（35）上端安装液压杆（32）。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆用覆膜装置，其特征在于：所述切膜组件（5）包括侧板一（51）、支撑盒（52）、侧板二（581）和电机六（55），所述支撑盒（52）安装在液压杆（32）的输出端，所述支撑盒（52）的右端安装侧板一（51），所述支撑盒（52）的左端安装侧板二（581），所述支撑盒（52）的下端安装电机六（55）。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆用覆膜装置，其特征在于：所述电机六（55）的输出端安装转盘（56），所述转盘（56）的下端分别安装有切膜刀（57）和支撑筒体（59），所述支撑筒体（59）下端转动安装滚珠（591），所述侧板二（581）上端安装有伸缩杆二（58），所述伸缩杆二（58）输出端安装裁切刀片（582）。

8.根据权利要求6所述的一种晶圆用覆膜装置，其特征在于：所述侧板一（51）上端安装伸缩杆一（53），所述伸缩杆一（53）输出端安装压板（54），所述压板（54）的下端分别安装有支撑块三（543）和压杆（544），所述支撑块三（543）内侧转动安装锯齿轮（542），所述支撑块三（543）外侧安装小型电机（541），所述小型电机（541）输出端连接锯齿轮（542）。