[发明专利]晶圆盒真空装载装置

权利要求书

1.一种晶圆盒真空装载装置，其特征在于，所述晶圆盒真空装载装置包括：

装载腔体（1），用于装载晶圆盒（200）；

密封框（3），安装在所述装载腔体（1）的内部、且与所述装载腔体（1）的内壁密封连接，形成密封空腔（31），所述密封空腔（31）与所述装载腔体（1）用于装载所述晶圆盒（200）的空腔隔绝，所述密封框（3）上开设有安装通孔；

透光板（4），安装在所述安装通孔内、且与所述密封框（3）密封连接；

非真空型传感器（5），安装在所述密封空腔（31）内，所述非真空型传感器（5）用于发出光线（51）穿过所述透光板（4）、并检测所述装载腔体（1）内是否装入所述晶圆盒（200）；

其中，所述装载腔体（1）的所述内壁上开设有穿线孔（101），所述穿线孔（101）的一端与所述密封空腔（31）连通，所述穿线孔（101）的另一端与所述装载腔体（1）的外部连通，所述非真空型传感器（5）的连接线从所述穿线孔（101）引出。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒真空装载装置，其特征在于，所述晶圆盒真空装载装置还包括：

反射板（6），安装在所述装载腔体（1）的内部、且与所述非真空型传感器（5）发出的光线（51）正对设置，所述反射板（6）用于将所述非真空型传感器（5）发出的光线（51）反射回所述非真空型传感器（5），所述晶圆盒（200）装入所述装载腔体（1）之后将阻断所述光线（51）。

3.根据权利要求2所述的晶圆盒真空装载装置，其特征在于，所述晶圆盒真空装载装置还包括：

支架（2），安装在所述装载腔体（1）的内部，所述支架（2）用于承载所述晶圆盒（200）；

传动杆（11），活动连接在所述支架（2）上，所述晶圆盒（200）放置在所述支架（2）上之后将推动所述传动杆（11）阻断所述光线（51）。

4.根据权利要求3所述的晶圆盒真空装载装置，其特征在于，所述支架（2）上开设有连接通孔（21），所述传动杆（11）贯穿所述连接通孔（21）、且与所述支架（2）铰接，所述晶圆盒（200）放置在所述支架（2）上之后将压下所述传动杆（11）的一端，所述传动杆（11）的另一端翘起、阻断所述光线（51）。

5.根据权利要求4所述的晶圆盒真空装载装置，其特征在于，所述传动杆（11）为Z字形结构，所述传动杆（11）的中部贯穿所述连接通孔（21）、且与所述支架（2）铰接。

6.根据权利要求5所述的晶圆盒真空装载装置，其特征在于，所述传动杆（11）包括依次连接的第一水平段（111）、竖直段（112）和第二水平段（113），所述第一水平段（111）位于所述支架（2）的上侧，所述竖直段（112）贯穿所述连接通孔（21）、且与所述支架（2）铰接，所述第二水平段（113）位于所述支架（2）的下侧，所述第二水平段（113）用于阻断所述光线（51）。

7.根据权利要求3所述的晶圆盒真空装载装置，其特征在于，所述反射板（6）安装在所述支架（2）的底部，所述非真空型传感器（5）安装在所述装载腔体（1）的底部。

8.根据权利要求1所述的晶圆盒真空装载装置，其特征在于，所述晶圆盒真空装载装置还包括：

第一密封圈（8），夹持在所述密封框（3）与所述装载腔体（1）的内壁之间；

第二密封圈（9），夹持在所述密封框（3）与所述透光板（4）之间。

9.根据权利要求1所述的晶圆盒真空装载装置，其特征在于，所述晶圆盒真空装载装置还包括：

压盖（7），通过螺栓连接在所述密封框（3）上、且将所述透光板（4）压紧在所述密封框（3）上；

第三密封圈（10），夹持在所述透光板（4）与所述压盖（7）之间。

10.根据权利要求1所述的晶圆盒真空装载装置，其特征在于，所述透光板（4）为石英玻璃。