[发明专利]一种用于固晶机的双摆臂排晶装置

权利要求书

1.一种用于固晶机的双摆臂排晶装置，其特征在于，包括：

双摆臂装置，所述双摆臂装置包括第一摆臂机构和第二摆臂机构，所述第二摆臂机构用于承接转移第一摆臂机构吸取到的晶体；

中转台机构，所述中转台机构位于第一摆臂机构和第二摆臂机构之间，所述第一摆臂机构吸取到的晶体放置于中转台机构上，所述第二摆臂机构从中转台机构上吸取已放置的晶体；

双视觉装置，所述双视觉装置包括第一摄像组件和第二摄像组件，所述第一摄像组件用于识别第一摆臂机构吸取晶体的位置，所述第二摄像组件用于识别第二摆臂机构吸取中转台机构上晶体的位置。

2.根据权利要求1所述的用于固晶机的双摆臂排晶装置，其特征在于，所述第一摆臂机构包括第四活动架、第一摆臂电机、第一摆臂套件、第一摆动臂和第一真空吸嘴，所述安装板上设有第四活动架，所述第四活动架前端设有第一摆臂电机，所述第一摆臂电机下端设有第一摆臂套件，所述第一摆臂套件端部设有第一摆动臂，所述第一摆动臂的端部设有第一真空吸嘴，所述第四活动架一侧设有第一摄像组件，用于拍摄定位所述晶圆盘上的晶体，其中，所述第四活动架为横纵可调节设置。

3.根据权利要求2所述的用于固晶机的双摆臂排晶装置，其特征在于，所述中转台机构包括第六活动架、中转支架和中转平面，所述第六活动架设置于安装架上，所述第六活动架上固定有中转支架，所述中转支架顶部设有中转平面，供所述第一摆动臂放置吸取到的晶体，其中，所述第六活动架为横纵可调节设置。

4.根据权利要求3所述的用于固晶机的双摆臂排晶装置，其特征在于，所述第二摆臂机构包括第五活动架、第二摆臂电机、第二摆臂套件、第二摆动臂和第二真空吸嘴，所述安装板上设有第五活动架，所述第五活动架前端设有第二摆臂电机，所述第二摆臂电机下端设有第二摆臂套件，所述第二摆臂套件端部设有第二摆动臂，所述第二摆动臂的端部设有第二真空吸嘴，所述第五活动架一侧设有第二摄像组件，用于拍摄定位所述中转平面上的晶体，其中，所述第五活动架为横纵可调节设置。

5.根据权利要求1所述的用于固晶机的双摆臂排晶装置，其特征在于，还包括：

安装架，所述安装架包括用于固定安装所述中转台机构，所述安装架上方固定设有安装板，所述第一摆臂机构、第二摆臂机构均设置于所述安装板上；

固晶装置，所述固晶装置包括固晶平台组件和固晶机构，所述固晶平台组件设置于所述安装架上，所述固晶机构位于所述固晶平台组件上方设置于安装板上；

供晶机构，所述安装架位于所述固晶平台组件的一侧设有供晶机构；

上下料机构，所述安装架位于所述固晶平台组件的另一侧设有上下料机构，用于向所述固晶平台组件供料和/或取料；

其中，所述第一摆臂机构用于吸取所述供晶机构上的晶体放置于中转台机构上，所述第二摆臂机构用于吸取所述中转台机构上的晶体放置于固晶平台组件上，供所述固晶机构进行固晶。

6.根据权利要求5所述的用于固晶机的双摆臂排晶装置，其特征在于，所述供晶机构包括第一活动架、晶圆盘、顶晶组件、第二活动架、晶片置换件和第二电机，所述安装架上由后向前依序设有第一活动架、顶晶组件和第二活动架，所述第一活动架顶部固定安装有晶圆盘，所述第二活动架顶部设有晶片置换件，所述第二活动架侧边位于晶片置换件下方固定安装有第二电机，所述第二电机的输出轴连接于晶片置换件，其中，所述晶片置换件为至少2环的晶片置换件，所述第一活动架、第二活动架为横纵滑行设置。

7.根据权利要求6所述的用于固晶机的双摆臂排晶装置，其特征在于，所述顶晶组件包括第三活动架、第一固定板、第一电机、筒杆、顶针和活动杆，所述第三活动架上固定安装有第一固定板，所述第一固定板顶部固定设有筒杆，所述筒杆内设有可活动顶针，所述第一固定板的一侧设有活动杆，所述活动杆上端与顶针触接，所述第一固定板的另一侧设有第一电机，所述第一电机的输出轴与活动杆下端凸轮触接，使所述活动杆上下滑行，其中，所述第三活动架为横纵滑行可调节设置，第一电机为步进寸动第一电机。