[发明专利]一种高纯度金属溅射靶材冷却方法

权利要求书

1.一种高纯度金属溅射靶材冷却方法，应用于所述冷却装置中，所述冷却装置包括冷却箱(1)，其特征在于，所述冷却方法包括：

在所述冷却箱(1)中设置第一冷却机构、第二冷却机构和第三冷却机构，所述第一冷却机构对高纯度金属溅射靶材进行清洗杂质和初步冷却，所述第二冷却机构对清洗之后的高纯度金属溅射靶材进行水冷，所述第三冷却机构对高纯度金属溅射靶材进行风冷，并对高纯度金属溅射靶材上粘附的冷却水进行清理；

其中，所述冷却箱(1)包括第一冷却室(2)、第二冷却室(3)和第三冷却室(4)，所述第一冷却机构设置在所述第一冷却室(2)中，所述第二冷却机构设置在所述第二冷却室(3)中，所述第三冷却机构设置在所述第三冷却室(4)中，所述冷却箱(1)的外侧安装有两组循环水泵(5)，两组所述循环水泵(5)分别与第一冷却室(2)和第二冷却室(3)连通，使得所述第一冷却室(2)内的冷却水和第二冷却室(3)内的冷却水进行循环使用；

所述第一冷却室(2)中冷却水设置为常温状态下的水，所述第二冷却室(3)中水设置为冰水。

2.根据权利要求1所述的一种高纯度金属溅射靶材冷却方法，其特征在于：所述第一冷却室(2)的内侧顶面安装有第一喷淋座(6)，所述第二冷却室(3)的内侧顶面安装有第二喷淋座(7)，所述第一喷淋座(6)和所述第二喷淋座(7)上均等间距安装有若干组喷淋头(8)，所述喷淋头(8)可对高纯度金属溅射靶材喷淋冷却水进行冷却，所述第三冷却室(4)的内侧顶面可拆卸安装有若干组冷风机(9)，所述冷风机(9)对高纯度金属溅射靶材进行风冷。

3.根据权利要求2所述的一种高纯度金属溅射靶材冷却方法，其特征在于：两组所述循环水泵(5)上均安装有两组导水管(10)，两组所述导水管(10)的一端分别设置在第一冷却室(2)和第二冷却室(3)的内部，另外两组所述导水管(10)的一端分别设置在第一喷淋座(6)和所述第二喷淋座(7)上，使得所述循环水泵(5)能够将冷却水导入所述喷淋头(8)中。

4.根据权利要求3所述的一种高纯度金属溅射靶材冷却方法，其特征在于：所述第一冷却室(2)的内壁和第二冷却室(3)的内壁均可拆卸安装有过滤板(11)，所述导水管(10)的一端设置在所述过滤板(11)的下方，且所述导水管(10)上可拆卸安装有过滤件(12)，所述过滤件(12)上固定安装有过滤网。

5.根据权利要求1所述的一种高纯度金属溅射靶材冷却方法，其特征在于：所述冷却箱(1)的内表面两侧均安装有第一连接座(13)，所述第一连接座(13)沿第一连接座(13)的长度方向开设有第一凹槽(14)，所述第一凹槽(14)中安装有第一电动滑轨(15)，所述第一电动滑轨(15)上安装有第一滑块(16)，所述第一连接座(13)上设置有与所述第一滑块(16)连接的第一连接件(17)，所述冷却箱(1)的内部设置有用于放置高纯度金属溅射靶材的放置盒(18)，所述放置盒(18)上固定安装有若干组与所述第一连接件(17)连接的固定件(19)，使得所述第一电动滑轨(15)和所述第一滑块(16)配合使用，能够将高纯度金属溅射靶材在所述冷却箱(1)内进行转运。

6.根据权利要求5所述的一种高纯度金属溅射靶材冷却方法，其特征在于：所述第一连接件(17)的竖截面设置为“L”字型，所述放置盒(18)的上表面开设有放置槽(20)，所述放置槽(20)的内侧底面开设有若干组第一滤孔。

7.根据权利要求6所述的一种高纯度金属溅射靶材冷却方法，其特征在于：将高纯度金属溅射靶材放入所述放置槽(20)中，启动所述第一电动滑轨(15)，带动所述第一连接件(17)在所述第一连接座(13)上移动，能够将高纯度金属溅射靶材从第一冷却室(2)分别转运到第二冷却室(3)中和第三冷却室(4)中。