[发明专利]芯粒转移装置及方法在审

专利信息
申请号: 202210729159.1 申请日: 2022-06-24
公开(公告)号: CN115332145A 公开(公告)日: 2022-11-11
发明(设计)人: 陈张笑雄;龚逸品;李鹏;王江波 申请(专利权)人: 华灿光电(苏州)有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/68
代理公司: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人: 吕耀萍
地址: 215600 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 转移 装置 方法
【说明书】:

本公开提供了一种芯粒转移装置及方法,属于显示面板制造领域。该芯粒转移装置包括基座、输料组件和光镊组件;基座具有用于放置驱动面板的支撑面,基座内具有电磁线圈;输料组件的输料口朝向基座的支撑面;光镊组件与输料组件位于基座的同一侧,光镊组件被配置为,驱动输料组件输出的芯粒进入驱动面板的对应孔位中。本公开能够高效的完成巨量转移。

技术领域

本公开属于显示面板制造领域,特别涉及一种芯粒转移装置及方法。

背景技术

微型发光二极管(Micro LED)是一种新型的显示技术,指的是以自发光的微米量级的发光二极管为发光像素单元,将其转移到驱动面板上,从而形成高密度发光二极管阵列的显示技术。

由于该显示技术中发光像素单元,即发光二极管芯粒的尺寸非常小,所以需要转移至驱动面板上的芯粒数量巨大。这一转移芯粒的过程,被称为巨量转移。

由于巨量转移的工程量非常的大,所以会耗费大量的时间成本和物力成本。

发明内容

本公开实施例提供了一种芯粒转移装置及方法,能够高效的完成巨量转移。所述技术方案如下:

一方面,本公开实施例提供了一种芯粒转移装置,包括基座、输料组件和光镊组件;

所述基座具有用于放置驱动面板的支撑面,所述基座内具有电磁线圈;

所述输料组件的输料口朝向所述基座的支撑面;

所述光镊组件与所述输料组件位于所述基座的同一侧,所述光镊组件被配置为,驱动所述输料组件输出的芯粒进入所述驱动面板的对应孔位中。

在本公开的一种实现方式中,所述基座包括台座、倾斜机构和底座;

所述台座和所述底座相互间隔;

所述倾斜机构位于所述台座和所述底座之间,且分别与所述台座和所述底座相连,所述倾斜机构用于驱动所述台座相对于所述底座倾斜。

在本公开的另一种实现方式中,所述倾斜机构包括至少两组第一伸缩缸;

至少两组所述第一伸缩缸之间相互间隔,且靠近所述台座的边缘。

在本公开的又一种实现方式中,所述支撑面上具有至少两个限位件;

各所述限位件均与所述支撑面相连,且围设形成用于容置所述驱动面板的空间,各所述限位件用于与所述驱动面板相抵。

在本公开的又一种实现方式中,所述空间在所述支撑面所处平面上的正投影位于,所述电磁线圈在所述支撑面所处平面上的正投影内。

在本公开的又一种实现方式中,所述芯粒转移装置还包括振动组件;

所述振动组件位于所述基座的背离所述支撑面的一侧,且所述振动组件与所述支撑面相间隔。

在本公开的又一种实现方式中,所述振动组件包括振荡器件和第二伸缩缸;

所述第二伸缩缸与所述振荡器件相连,以驱动所述振荡器件靠近或者远离所述支撑面。

在本公开的又一种实现方式中,所述芯粒转移装置还包括自动光学检测设备;

所述自动光学检测设备的摄像头朝向所述基座的支撑面。

另一方面,本公开实施例提供了一种芯粒转移方法,基于前文所述的芯粒转移装置,所述芯粒转移方法包括:

提供多个所述芯粒,多个所述芯粒中包括三种颜色的所述芯粒,且各种颜色的所述芯粒的尺寸各不相同;

提供所述驱动面板,所述驱动面板的一面具有三种尺寸的所述孔位,一种尺寸的所述孔位对应一种尺寸的所述芯粒;

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