[发明专利]芯粒转移装置及方法在审
申请号: | 202210729159.1 | 申请日: | 2022-06-24 |
公开(公告)号: | CN115332145A | 公开(公告)日: | 2022-11-11 |
发明(设计)人: | 陈张笑雄;龚逸品;李鹏;王江波 | 申请(专利权)人: | 华灿光电(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/68 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 吕耀萍 |
地址: | 215600 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 转移 装置 方法 | ||
本公开提供了一种芯粒转移装置及方法,属于显示面板制造领域。该芯粒转移装置包括基座、输料组件和光镊组件;基座具有用于放置驱动面板的支撑面,基座内具有电磁线圈;输料组件的输料口朝向基座的支撑面;光镊组件与输料组件位于基座的同一侧,光镊组件被配置为,驱动输料组件输出的芯粒进入驱动面板的对应孔位中。本公开能够高效的完成巨量转移。
技术领域
本公开属于显示面板制造领域,特别涉及一种芯粒转移装置及方法。
背景技术
微型发光二极管(Micro LED)是一种新型的显示技术,指的是以自发光的微米量级的发光二极管为发光像素单元,将其转移到驱动面板上,从而形成高密度发光二极管阵列的显示技术。
由于该显示技术中发光像素单元,即发光二极管芯粒的尺寸非常小,所以需要转移至驱动面板上的芯粒数量巨大。这一转移芯粒的过程,被称为巨量转移。
由于巨量转移的工程量非常的大,所以会耗费大量的时间成本和物力成本。
发明内容
本公开实施例提供了一种芯粒转移装置及方法,能够高效的完成巨量转移。所述技术方案如下:
一方面,本公开实施例提供了一种芯粒转移装置,包括基座、输料组件和光镊组件;
所述基座具有用于放置驱动面板的支撑面,所述基座内具有电磁线圈;
所述输料组件的输料口朝向所述基座的支撑面;
所述光镊组件与所述输料组件位于所述基座的同一侧,所述光镊组件被配置为,驱动所述输料组件输出的芯粒进入所述驱动面板的对应孔位中。
在本公开的一种实现方式中,所述基座包括台座、倾斜机构和底座;
所述台座和所述底座相互间隔;
所述倾斜机构位于所述台座和所述底座之间,且分别与所述台座和所述底座相连,所述倾斜机构用于驱动所述台座相对于所述底座倾斜。
在本公开的另一种实现方式中,所述倾斜机构包括至少两组第一伸缩缸;
至少两组所述第一伸缩缸之间相互间隔,且靠近所述台座的边缘。
在本公开的又一种实现方式中,所述支撑面上具有至少两个限位件;
各所述限位件均与所述支撑面相连,且围设形成用于容置所述驱动面板的空间,各所述限位件用于与所述驱动面板相抵。
在本公开的又一种实现方式中,所述空间在所述支撑面所处平面上的正投影位于,所述电磁线圈在所述支撑面所处平面上的正投影内。
在本公开的又一种实现方式中,所述芯粒转移装置还包括振动组件;
所述振动组件位于所述基座的背离所述支撑面的一侧,且所述振动组件与所述支撑面相间隔。
在本公开的又一种实现方式中,所述振动组件包括振荡器件和第二伸缩缸;
所述第二伸缩缸与所述振荡器件相连,以驱动所述振荡器件靠近或者远离所述支撑面。
在本公开的又一种实现方式中,所述芯粒转移装置还包括自动光学检测设备;
所述自动光学检测设备的摄像头朝向所述基座的支撑面。
另一方面,本公开实施例提供了一种芯粒转移方法,基于前文所述的芯粒转移装置,所述芯粒转移方法包括:
提供多个所述芯粒,多个所述芯粒中包括三种颜色的所述芯粒,且各种颜色的所述芯粒的尺寸各不相同;
提供所述驱动面板,所述驱动面板的一面具有三种尺寸的所述孔位,一种尺寸的所述孔位对应一种尺寸的所述芯粒;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造