[发明专利]镍金镀层的制备方法在审

专利信息
申请号: 202210694897.7 申请日: 2022-06-20
公开(公告)号: CN115172172A 公开(公告)日: 2022-10-11
发明(设计)人: 徐俊;陈志钊 申请(专利权)人: 广东华智芯电子科技有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;C25D3/12;C25D3/48;C25D5/12
代理公司: 华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 王南杰
地址: 528251 广东省佛山市南海区狮山镇软件园桃*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 镀层 制备 方法
【说明书】:

发明提供了一种镍金镀层的制备方法,包括以下步骤:配置氨基磺酸镍水溶液;将硼酸加入到所述氨基磺酸镍水溶液中,得到混合液;将氯化镍加入到所述混合液中,得到电镀液;将镍块作为阳极,将铜引线框架作为阴极,并对所述镍块、所述铜引线框架以及所述电镀液施加电压,以在所述铜引线框架上形成镍镀层前体;增大所述电压,以使所述镍镀层前体中的镍晶体生长,从而得到镍镀层;以及在所述镍镀层上电镀以形成金镀层。本发明能够减少镍镀层中的镍原子扩散,且不会增加生产成本。

技术领域

本发明涉及电镀技术领域,特别是涉及一种镍金镀层的制备方法。

背景技术

目前,在大功率半导体封装领域,芯片和引线框架之间通常是使用打线结合(WireBonding)的方式进行互联。即芯片和引线框架之间通过焊线连接。这就要求在引线框架上面镀覆与焊线相对应的镀层来进行结合。而在射频器件中,由于其可靠性和电导率的要求,往往会选择金线作为焊线,因此镀层所选用的种类一般为镍金镀层。其中,镍镀层的作用主要是阻挡底部铜引线框架的铜原子扩散,金镀层的作用主要是和金线形成良好的结合,保障金线的性能和长期工作的稳定性。

然而,在使用镍金镀层的过程中,虽然镍镀层能够有效阻挡铜原子的扩散,但是镍镀层也容易扩散到金镀层表面,并且镍镀层氧化后影响金线的质量。目前通常采用加厚金镀层(使金镀层的厚度≥1.5μm)的方法以阻碍镍镀层扩散到金镀层表面,但由于金的价格较高,这又会增加生产成本。

发明内容

基于此,有必要提供一种能够减少镍镀层中的镍原子扩散,且不会增加生产成本的镍金镀层的制备方法。

本发明提供了一种镍金镀层的制备方法,包括以下步骤:

配置氨基磺酸镍水溶液;

将硼酸加入到所述氨基磺酸镍水溶液中,得到混合液;

将氯化镍加入到所述混合液中,得到电镀液;

将镍块作为阳极,将铜引线框架作为阴极,并对所述镍块、所述铜引线框架以及所述电镀液施加电压,以在所述铜引线框架上形成镍镀层前体;

增大所述电压,以使所述镍镀层前体中的镍晶体生长,从而得到镍镀层;以及

在所述镍镀层上电镀以形成金镀层。

在一可能的实施例中,在所述电镀液中,镍离子的浓度为75~105g/L,硼酸的浓度为35~40g/L,氯化镍的浓度为7~15g/L。

在一可能的实施例中,配置所述氨基磺酸镍水溶液具体包括以下步骤:

将氨基磺酸镍溶于水中,得到镍离子浓度为150~210g/L的所述氨基磺酸镍水溶液。

在一可能的实施例中,将所述硼酸加入到所述氨基磺酸镍水溶液中具体包括以下步骤:

将所述硼酸溶于水中,得到浓度为350~400g/L的硼酸水溶液;以及

将所述硼酸水溶液加入到所述氨基磺酸镍水溶液中,得到所述混合液。

在一可能的实施例中,将所述氯化镍加入到所述混合液中具体包括以下步骤:

将所述氯化镍溶于水中,得到浓度为70~150g/L的氯化镍水溶液;以及

将所述氯化镍水溶液加入到混合液中,得到所述电镀液。

在一可能的实施例中,在将所述氯化镍水溶液加入到所述混合液中之后,所述制备方法还包括以下步骤:

将水加入到所述混合液中,以使得所述电镀液的体积为1.7~2.3L。

在一可能的实施例中,在形成所述镍镀层前体时,流经所述镍块的电流密度为1.5~2.5ASD。

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