[发明专利]一种晶圆生产设备及方法

说明书

本发明涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆生产设备一种晶圆生产设备及方法，包括壳体，所述壳体内设置有机架、上料机构、外观检测装置、标记打点装置、扩膜装置、下料机构以及用于在所述上料机构、所述外观检测装置、所述标记打点装置、所述扩膜装置、所述下料机构之间搬运晶圆产品的XYZR搬运机构；所述上料机构、所述外观检测装置、所述标记打点装置、所述扩膜装置、所述下料机构以及所述XYZR搬运机构均固定于所述机架上。本发明将外观检测装置、标记打点装置与扩膜装置集成在同一设备中，采用一套上料机构、下料机构及XYZR搬运机构，不仅结构及节拍更为紧凑，还可以降低成本，节省占地空间。

技术领域

本发明涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆生产设备一种晶圆生产设备及方法。

背景技术

在晶圆生产过程中，通常需要对晶圆进行外观检测，并对异常点进行点墨标记，还需要对划好片的晶圆进行扩膜增大间隙，目前一般是通过两套设备分别进行检测及点墨、扩膜，需要增设一套上下料机构以及搬运机构，不仅占地面积大，且投资成本高。且现有的晶圆生产过程中一般是通过晶圆机器人将晶圆搬运至检测工位，但晶圆机器人的运动路径只能原进原出，且价格昂贵。此外，现有的晶圆外观检测设备需要设置独立的寻边模块，不仅结构复杂，且价格昂贵，同时检测效率低下。

发明内容

为了克服上述现有技术存在的不足，本发明的目的是提供一种晶圆生产设备，不仅占地面积大大缩小，设备更为紧凑简洁，而且成本低。

为实现上述目的，本发明的技术方案为一种晶圆生产设备，包括壳体，所述壳体内设置有机架、上料机构、外观检测装置、标记打点装置、扩膜装置、下料机构以及用于在所述上料机构、所述外观检测装置、所述标记打点装置、所述扩膜装置、所述下料机构之间搬运晶圆产品的XYZR搬运机构；所述上料机构、所述外观检测装置、所述标记打点装置、所述扩膜装置、所述下料机构以及所述XYZR搬运机构均固定于所述机架上。

进一步地，所述壳体内还设置有X轴初定位机构和Y轴初定位机构，所述X轴初定位机构和所述Y轴初定位机构均固定于所述机架上且位于所述上料机构与所述XYZR搬运机构之间。

进一步地，所述上料机构和所述下料机构的结构相同，均包括晶圆料盒、料盒固定架、升降模组以及升降模组固定架，所述晶圆料盒固定于所述料盒固定架的顶面上，所述料盒固定架安装于升降模组上，所述升降模组固定于所述升降模组固定架上，所述升降模组固定架固定于所述机架上。

进一步地，所述搬运机构包括XYZ三轴移动模组、R轴模组以及夹爪组件，所述XYZ三轴移动模组设置于所述机架上，所述R轴模组安装于所述XYZ三轴移动模组上，所述夹爪组件可转动地安装于所述R轴模组上。

进一步地，所述外观检测装置包括基板、晶圆定位治具、旋转驱动机构、寻边纠偏机构、视觉检测机构以及XY直线模组；所述旋转驱动机构和所述寻边纠偏机构均设置于所述基板上，所述晶圆定位治具转动安装于所述基板上，且所述晶圆定位治具与所述旋转驱动机构连接；所述XY直线模组设置于所述基板的一侧，所述视觉检测机构安装于所述XY直线模组上。

进一步地，所述标记打点装置包括工作台、喷墨机构、XYZ三轴移动机构、支撑架以及视觉定位机构；所述工作台设置于所述机架上，所述XYZ三轴移动机构通过支撑架安装于所述工作台的上方，所述喷墨机构安装于所述XYZ三轴移动机构上；所述视觉定位机构安装于所述工作台的正上方。

更进一步地，所述工作台的顶面上沿晶圆产品放置区的周向间隔设置有若干第二定位柱，且所述工作台的顶面上对应晶圆铁框的位置处间隔设置有若干电磁铁安装槽，各所述电磁铁安装槽中均安装有电磁铁。