[发明专利]具有相位移反射器的声光系统

权利要求书

1.一种多轴光束定位器，其用于偏转光束路径于二维扫描场之中，绕射的线性偏振镭射光的光束沿着所述光束路径传播，所述多轴光束定位器包括:

第一声光偏转器，其在操作上用于使所述镭射光绕射以偏转所述光束路径于第一一维扫描场之中，所述第一一维扫描场沿着所述二维扫描场的第一轴延伸；

第二声光偏转器，其在操作上用于使所述镭射光绕射以偏转所述光束路径于第二一维扫描场之中，所述第二一维扫描场沿着所述二维扫描场的第二轴延伸；以及

至少一个反射相位延迟器，其配置于所述第一声光偏转器和所述第二声光偏转器之间，

其中，所述第一声光偏转器、所述第二声光偏转器以及所述至少一个反射相位延迟器被配置以使得所述第一一维扫描场入射于所述至少一个反射相位延迟器上，使得所述第一一维扫描场以所述第一轴不平行于所述第二一维扫描场的所述第二轴的方式从所述至少一个反射相位延迟器投射到所述第二声光偏转器上。

2.如权利要求1所述的多轴光束定位器，其中，

所述第一声光偏转器具有第一绕射轴，

所述第二声光偏转器具有第二绕射轴，并且

所述第一声光偏转器和所述第二声光偏转器被设置使得所述第一绕射轴平行于所述第二绕射轴。

3.如权利要求1所述的多轴光束定位器，其中

所述第一声光偏转器具有第一绕射轴,

所述第二声光偏转器具有第二绕射轴，并且

所述第一声光偏转器和所述第二声光偏转器被设置使得所述第一绕射轴垂直于所述第二绕射轴。

4.如权利要求1所述的多轴光束定位器，其中所述至少一个反射相位延迟器包括半波反射相位延迟器。

5.如权利要求1所述的多轴光束定位器，其中所述至少一个反射相位延迟器包括两个四分之一波长反射相位延迟器。

6.如权利要求5所述的多轴光束定位器，其中所述两个四分之一波长反射相位延迟器包括：

第一四分之一波长反射相位延迟器，其具有第一反射器表面；及

第二四分之一波长反射相位延迟器，其具有第二反射器表面，

其中所述第一四分之一波长反射相位延迟器及所述第二四分之一波长反射相位延迟器相对于彼此定向，以使得所述第一反射器表面的表面法线垂直于所述第二反射器表面的表面法线。

7.如权利要求1所述的多轴光束定位器，其中所述第一声光偏转器包括由包括锗的材料所形成的声光单元。

8.如权利要求1所述的多轴光束定位器，其中所述第一声光偏转器包括由包括石英的材料所形成的声光单元。

9.如权利要求1所述的多轴光束定位器，其中所述第一一维扫描场以所述第一一维扫描场的所述第一轴垂直于所述第二一维扫描场的所述第二轴的方式投影到所述第二声光偏转器上。

10.如权利要求1所述的多轴光束定位器，还包括设置在所述第一声光偏转器和所述第二声光偏转器之间的光学中继系统，使得所述第一一维扫描场透过所述光学中继系统而投影在所述第二声光偏转器上。

11.如权利要求1所述的多轴光束定位器，还包括设置在所述第一声光偏转器和所述第二声光偏转器之间的光学中继系统，使得所述第一一维扫描场透过所述光学中继系统而投影在所述第二声光偏转器上，其中所述至少一个反射相位延迟器设置在所述第一声光偏转器和所述光学中继系统之间。

12.如权利要求1所述的多轴光束定位器，还包括设置在所述第一声光偏转器和所述第二声光偏转器之间的光学中继系统，使得所述第一一维扫描场透过所述光学中继系统而投影在所述第二声光偏转器上，其中所述至少一个反射相位延迟器设置在所述第二声光偏转器和所述光学中继系统之间。