[发明专利]彩色滤光片及其制备方法、显示面板有效
申请号: | 202210536117.6 | 申请日: | 2022-05-17 |
公开(公告)号: | CN114839806B | 公开(公告)日: | 2023-09-01 |
发明(设计)人: | 张玉秀;温海龙 | 申请(专利权)人: | 广州华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1335 | 分类号: | G02F1/1335 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 孟霞 |
地址: | 510700 广东省广州市黄埔区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 彩色 滤光 及其 制备 方法 显示 面板 | ||
本发明公开了一种彩色滤光片及其制备方法、显示面板,彩色滤光片的制备方法包括:提供一衬底;在衬底上形成第一光阻材料层;对第一光阻材料层进行图案化处理以形成多个第一光阻;在第一光阻和所述衬底上形成第二光阻材料层,第二光阻材料层中包括多个染料分子;以及对第二光阻材料层进行图案化处理以形成多个第二光阻;其中,第一光阻的形成步骤包括:控制第一光阻的固化处理工艺参数,以使形成的第一光阻的致密度提高至能够阻挡染料分子进入至第一光阻中的程度,避免了第一光阻的穿透率的下降,有利于改善不同颜色的光阻之间相互染色的问题。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种彩色滤光片及其制备方法、显示面板。
背景技术
随着液晶显示器产品的更迭,显示器逐步向高分辨、高色域、高屏占比、轻薄、节能等方向发展。为了实现低功耗和高色域,采用染料和颜料混合(Hybrid)或者全染料(Dye)材料的彩膜光刻胶,而由于粒径较小的染料分子的加入,会存在不同颜色的光阻之间相互染色的现象,详细地,在已固化的第一光阻制备完成之后制备含有染料分子的第二光阻,则染料分子在第一光阻表面容易发生扩散渗透,导致第二光阻显影处理后,染料分子会在第一光阻表面残留,从而导致该第一光阻的穿透率下降。
发明内容
本发明实施例提供一种彩色滤光片及其制备方法、显示面板,以解决现有的彩色滤光片中不同颜色的光阻之间相互染色,导致染色的第一光阻的穿透率下降的技术问题。
为解决上述问题,本发明提供的技术方案如下:
本发明提供一种彩色滤光片的制备方法,包括以下步骤:
提供一衬底;
在所述衬底上形成第一光阻材料层;
对所述第一光阻材料层进行图案化处理以形成多个第一光阻;
在所述第一光阻和所述衬底上形成第二光阻材料层,所述第二光阻材料层中包括多个染料分子;以及
对所述第二光阻材料层进行图案化处理以形成多个第二光阻;
其中,所述第一光阻的形成步骤包括:
控制所述第一光阻的固化处理工艺参数,以使形成的所述第一光阻的致密度提高至能够阻挡所述染料分子进入至所述第一光阻中的程度。
根据本发明提供的彩色滤光片的制备方法,在所述控制所述第一光阻的固化处理工艺参数的步骤中,包括:
提供一第一掩膜板;
在所述第一掩膜板远离所述衬底的一侧对所述第一光阻材料层进行光固化处理;
对光固化处理后的所述第一光阻材料层进行显影处理;以及
对显影后的所述第一光阻材料层进行热固化处理,以形成所述第一光阻;
其中,调整光固化处理的曝光能量值和/或提高热固化处理温度和/或提高热固化处理时间以使所述第一光阻的致密度提高至能够阻挡所述染料分子进入至所述第一光阻中。
根据本发明提供的彩色滤光片的制备方法,所述曝光能量值的范围为40毫焦/平方厘米~90毫焦/平方厘米、所述热固化处理温度的范围为230摄氏度~350摄氏度、所述热固化处理时间的范围为20分钟~90分钟。
根据本发明提供的彩色滤光片的制备方法,所述第二光阻的形成步骤包括:
提供一第二掩膜板;
在所述第二掩膜板远离所述衬底的一侧对所述第二光阻材料层进行光固化处理;
对光固化处理后的所述第二光阻材料层进行显影处理;以及
对显影后的所述第二光阻材料层进行热固化处理,以形成所述第二光阻。
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