[发明专利]一种晶圆烘烤用石英舟结构

说明书

本发明公开了一种晶圆烘烤用石英舟结构，包括上顶板和下底板，上顶板与下底板之间转动连接有至少一个曲轴结构，上顶板、下底板边缘位置之间固定有至少一个竖棒，竖棒设有卡槽，曲轴结构包括多段连接轴以及固定连接于相邻连接轴之间的U型臂。本发明能够方便晶圆水平放入石英舟，并能够在石英舟运动时保持晶圆稳固、防止晶圆脱落。

技术领域

本发明涉及石英舟领域，具体是一种晶圆烘烤用石英舟结构。

背景技术

目前，晶圆烘烤采用竖式石英舟作为承载物，该石英舟结构如图1、图2所示，包括轴向竖直的上顶板1和下底板2，上顶板1、下底板2同轴，由上顶板1、下底板2之间确定筒形区域，在上顶板1、下底板2边缘位置之间连接若干竖棒3，每个竖棒3朝向筒形区域内的一面分别设有多层卡槽，多个竖棒3的多层卡槽位置一一对应，并且多个竖棒3组成的弧形的圆角大于或等于180度。工作时将晶圆4置于筒形区域中并位于竖棒3其中一层卡槽高度，令晶圆4呈水平，并通过各个竖棒3处于同一层的卡槽相互配合卡于晶圆4侧边，由此形成对晶圆4的固定。

由于石英舟在烘烤晶圆时需要转动、升降等，以调整姿态使晶圆烘烤充分，因此竖棒3的组成的弧形圆角一般设置为大于180度，这样才能保持在晶圆4周围有效固定住晶圆，以免石英舟运动时晶圆4从筒形区域内脱落。但竖棒3分布大于180度的石英舟结构存在的问题是晶圆4放入比较困难，必须将晶圆4先竖置通过相邻竖棒3之间空隙塞入筒形区域中，然后再调整晶圆4使之水平，在晶圆4调整过程中容易于四周的竖棒3等产生碰撞，进而导致损坏。

为了解决这一问题，有的石英舟中竖棒3组成的弧形圆角等于180度(如图2所示)，相当于各个竖棒3位于筒形区域其中一个径向的一侧外，该结构的石英舟虽然能够令晶圆4呈平放状态送入筒形区域中(即从没有竖棒3的一侧送入晶圆4)，但其既然晶圆4能平放送入，那么晶圆4同样能够平放脱落，因此仍然存在晶圆4脱落的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种晶圆烘烤用石英舟结构，以解决现有技术石英舟存在的晶圆放置困难、容易脱落的问题。

为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案为：

一种晶圆烘烤用石英舟结构，包括上顶板和下底板，其特征在于：上顶板与下底板之间转动连接有至少一个曲轴结构，曲轴结构包括多段竖直的连接轴以及固定连接于相邻连接轴之间的U型臂，所述U型臂呈U形面平行于竖直方向的水平平放状态，还包括连接于上顶板、下底板边缘位置之间的至少一个竖棒，所述竖棒对应每个U型臂的高度位置分别设有卡槽。

进一步的，所述曲轴结构有两个，其中一个曲轴结构转动连接于上顶板、下底板的中心之间，另一个曲轴结构转动连接于上顶板、下底板之间靠近中心位置。

进一步的，：所述曲轴结构有两个，两个曲轴结构在上顶板的连接位置按中心呈相互对称，对应的两个曲轴结构在下底板的连接位置按中心呈相互对称。

进一步的，当竖棒有多个时，多个竖棒组成的弧向的圆角小于180度。

进一步的，所述竖棒上卡槽为台阶槽。

进一步的，还包括设于上顶部、下底板中至少一者的电驱动装置，所述电驱动装置与曲轴结构的对应轴端连接，由电驱动装置驱动曲轴结构转动。

本发明中，通过设置至少一个可转动的曲轴结构，通过曲轴结构的各个曲型臂与竖棒的对应卡槽配合，用于固定多层晶圆。当需要晶圆放入时，可转动曲轴结构使曲型臂末端、竖棒组成的弧形的圆角小于180度，即可平放放入晶圆；当需要固定晶圆，可转动曲轴结构使曲型臂末端、竖棒组成的弧形的圆角大于180度，即可在四周固定住晶圆。

与现有技术相比，本发明能够方便晶圆水平放入石英舟，并能够在需要时从四周固定住晶圆，具有使用方便的优点，能够在石英舟运动时保持晶圆稳固、防止晶圆脱落。

附图说明

图1是现有技术石英舟结构示意图。