[发明专利]一种晶圆烘烤用石英舟结构

权利要求书

1.一种晶圆烘烤用石英舟结构，包括上顶板和下底板，其特征在于：上顶板与下底板之间转动连接有至少一个曲轴结构，曲轴结构包括多段竖直的连接轴以及固定连接于相邻连接轴之间的U型臂，所述U型臂呈U形面平行于竖直方向的水平平放状态，还包括连接于上顶板、下底板边缘位置之间的至少一个竖棒，所述竖棒对应每个U型臂的高度位置分别设有卡槽。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆烘烤用石英舟结构，其特征在于：所述曲轴结构有两个，其中一个曲轴结构转动连接于上顶板、下底板的中心之间，另一个曲轴结构转动连接于上顶板、下底板之间靠近中心位置。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆烘烤用石英舟结构，其特征在于：所述曲轴结构有两个，两个曲轴结构在上顶板的连接位置按中心呈相互对称，对应的两个曲轴结构在下底板的连接位置按中心呈相互对称。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆烘烤用石英舟结构，其特征在于：当竖棒有多个时，多个竖棒组成的弧向的圆角小于180度。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆烘烤用石英舟结构，其特征在于：所述竖棒上卡槽为台阶槽。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆烘烤用石英舟结构，其特征在于：还包括设于上顶部、下底板中至少一者的电驱动装置，所述电驱动装置与曲轴结构的对应轴端连接，由电驱动装置驱动曲轴结构转动。