[发明专利]溅射金属靶材及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202210333514.3 | 申请日： | 2022-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN114657526A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 姜庆;袁海江 | 申请（专利权）人： | 长沙惠科光电有限公司;惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22F3/02;B22F3/10;B22F3/24;B22F9/04;D01D5/00 |
| 代理公司： | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人： | 刘敏 |
| 地址： | 410324 湖南省长*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 金属 及其 制备 方法 应用 | ||
1.溅射金属靶材的制备方法，包括制备溅射金属靶材粉末、制备素坯、分段脱胶和高温烧结工序；其中，所述制备溅射金属靶材粉末通过静电纺丝工艺制备获得。
2.根据权利要求1所述制备方法，所述静电纺丝工艺包括：
按目标溅射金属靶材分子式称取各金属盐原材料，溶于溶剂后获得前驱体溶液；
所述前驱体溶液进行静电纺丝制备纤维丝，静电纺丝时正电压为15-20kv，负电压为650-800v，推进速度不超过0.010mm/s，纺丝温度35.0-45.0℃左右，湿度控制在20-40％以下；
所述纤维丝在氧气氛围下烧结、破碎，获得溅射金属靶材粉末。
3.根据权利要求2所述制备方法，其中，所述烧结为分段升温烧结，最后降温至室温。
4.根据权利要求3所述制备方法，其中，所述烧结为先升温到500℃并保温，然后再升温至1000℃后保温，最后降温至室温。
5.根据权利要求2所述制备方法，其中，所述金属盐为金属醋酸盐和/或金属醋酸盐水合物。
6.根据权利要求1所述制备方法，其中，所述分段脱胶为从室温升温至550℃，升温至150℃、250℃、350℃、450℃、550℃时各保温1h。
7.根据权利要求1所述制备方法，其中，所述高温烧结为升温至1000℃-1300℃后保温。
8.权利要求1-7任意一项所述制备方法制备的溅射金属靶材，其中，所述溅射金属靶材粒径在50-200nm。
9.静电纺丝工艺在制备溅射金属靶材、薄膜晶体管或TFT-LCD液晶显示器中的应用。
10.根据权利要求9所述应用，其中，所述静电纺丝工艺参数为：正电压为15-20kv，负电压为650-800v，推进速度不超过0.010mm/s，纺丝温度35.0-45.0℃左右，湿度控制在20-40％以下。
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