[发明专利]适用于真空环境的冷却系统及其使用方法

权利要求书

1.一种适用于真空环境的冷却系统，其特征在于，包括：

真空腔室（101），所述真空腔室（101）内设有一框架（102），所述框架（102）上安装有点胶装置（104）、压合装置（105）及固化装置（106）；所述点胶装置（104）包括真空视觉模块（1042），所述真空视觉模块（1042）与所述框架（102）相连接；

第一冷却机构（401），所述第一冷却机构（401）与所述真空视觉模块（1042）相连接，用于对所述真空视觉模块（1042）进行降温；

第一转接机构（402），所述第一转接机构（402）与所述第一冷却机构（401）相连接，用于对所述第一冷却机构（401）密封；

第二冷却机构（403），所述第二冷却机构（403）与所述固化装置（106）相连接，用于对所述固化装置（106）进行降温；

第二转接机构（404），所述第二转接机构（404）与所述第二冷却机构（403）相连接，用于对所述第二冷却机构（403）密封。

2.如权利要求1所述的适用于真空环境的冷却系统，其特征在于，所述真空视觉模块（1042）包括：

真空相机（404），所述真空相机（404）与所述框架（102）相连接；

视觉光源（405），所述视觉光源（405）与所述真空相机（404）相连接，所述视觉光源（405）与所述第一冷却机构（401）相连接。

3.如权利要求1所述的适用于真空环境的冷却系统，其特征在于，所述固化装置（106）包括：

盒体（1061），所述盒体（1061）安装在所述压合装置（105）上，所述盒体（1061）与所述第二冷却机构（403）相连接；

紫外光源（1062），所述紫外光源（1062）安装在所述盒体（1061）朝向所述压合装置（105）的一面，所述盒体（1061）与所述紫外光源（1062）之间形成一空腔（406）。

4.如权利要求2所述的适用于真空环境的冷却系统，其特征在于，所述第一转接机构（402）包括：第一进路转接组件（407）和第一回路转接组件（408），所述第一进路转接组件（407）和第一回路转接组件（408）均安装在所述真空腔室（101）的上腔壁上，所述第一进路转接组件（407）和第一回路转接组件（408）均与所述第一冷却机构（401）相连接。

5.如权利要求4所述的适用于真空环境的冷却系统，其特征在于，所述第一冷却机构（401）包括：

空气泵（4011），以及

第一冷却进路管道（4012），所述第一冷却进路管道（4012）的一端与所述空气泵（4011）相连接，所述第一冷却进路管道（4012）的另一端穿过所述第一进路转接组件（407）与所述视觉光源（405）相连接；

第一冷却回路管道（4013），所述第一冷却回路管道（4013）的一端与所述空气泵（4011）相连接，所述第一冷却回路管道（4013）的另一端穿过所述第一回路转接组件（408）与所述视觉光源（405）相连接。

6.如权利要求3所述的适用于真空环境的冷却系统，其特征在于，所述第二转接机构（404）包括第二进路转接组件（409）和第二回路转接组件（410），所述第二进路转接组件（409）和第二回路转接组件（410）均安装在所述真空腔室（101）的上腔壁上，所述第二进路转接组件（409）和第二回路转接组件（410）均与所述第二冷却机构（403）相连接。

7.如权利要求6所述的适用于真空环境的冷却系统，其特征在于，所述第二冷却机构（403）包括：

水冷箱（4031），以及

第二冷却进路管道（4032），所述第二冷却进路管道（4032）的一端与所述水冷箱（4031）相连接，所述第二冷却进路管道（4032）的另一端穿过所述第二进路转接组件（409）与所述盒体（1061）相连接；

第二冷却回路管道（4033），所述第二冷却回路管道（4033）的一端与所述水冷箱（4031）相连接，所述第二冷却回路管道（4033）的另一端穿过所述第二回路转接组件（410）与所述盒体（1061）相连接。