[发明专利]一种水平式多硅片中转机构在审
| 申请号: | 202210207387.2 | 申请日: | 2022-03-03 |
| 公开(公告)号: | CN114551314A | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
| 发明(设计)人: | 刘翠翠;徐亮 | 申请(专利权)人: | 江西汉可泛半导体技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/687;H01L31/18 |
| 代理公司: | 南昌贤达专利代理事务所(普通合伙) 36136 | 代理人: | 金一娴 |
| 地址: | 332020 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 水平 硅片 中转 机构 | ||
本发明公开了一种水平式多硅片中转机构,包括:型材架;放置板,其上设置有若干个通槽;若干个夹持机构,其包括两个固定板、两个驱动装置和若干个夹杆,夹杆上设置有卡槽,每两个夹杆为一组设置在固定板上且该两个夹杆上的卡槽互相垂直,驱动装置倾斜一定角度的设置在放置板上用于驱动固定板移动。本发明采用模拟人的手指方式固定硅片的四个边角,以达到夹住的目的,同时对硅片进行校正动作,且在与硅片接触时,最大限度的减少对硅片的磨损,使抓取时对硅片不造成污染,减少不良率;一个驱动装置可以同时定位两个夹杆方向的位置,解决了空间受限问题,可实现一次性水平放置多片,且能同时满上下两面进行取放,提高转运效率和灵活性。
技术领域
本发明涉及硅片生产技术领域,尤其是一种水平式多硅片中转机构。
背景技术
在光伏行业应用中,转运半成品镀膜硅片的翻面,现在最常用的方法是采用机械手和吸盘抓取,由机械手进行翻转后放入一个装置中,再从另一面进行取出,以达到翻面的目的;但这种吸盘抓取的方法容易对硅片造成污染和留下痕迹,从而影响后续工艺的加工效果,也会对成品的成型效果造成一定的影响。
发明内容
本发明的目的是为了解决上述技术问题,而提供一种水平式多硅片中转机构。
本发明的技术方案:一种水平式多硅片中转机构,包括:
型材架;
放置板,设置在所述型材架上,所述放置板上设置有若干个通槽;
若干个夹持机构,其包括两个固定板、两个驱动装置和若干个夹杆,所述夹杆上设置有卡槽,两个所述固定板对置设置,每两个所述夹杆为一组设置在所述固定板上且该两个所述夹杆上的卡槽互相垂直,所述驱动装置倾斜一定角度的设置在所述放置板上用于驱动所述固定板移动。
优选的,所述驱动装置相对所述放置板呈45度角。
优选的,所述固定板一侧具有向外延伸的突出部。
优选的,还包括若干个辅助支撑装置,设置在所述放置板上用于对所述固定板移动起到导向和支撑作用。
优选的,所述辅助支撑装置包括导轨和移动块,所述移动块可滑动地设置在所述导轨上,所述导轨倾斜一定角度的设置在所述放置板上。
优选的,所述导轨相对所述放置板呈45度角。
优选的,所述固定板上设置有若干个避让槽。
本发明的有益效果是:本发明采用模拟人的手指方式固定硅片的四个边角,以达到夹住的目的,同时对硅片进行校正动作,且在与硅片接触时,最大限度的减少对硅片的磨损,使抓取时对硅片不造成污染,减少不良率;一个驱动装置可以同时定位两个夹杆方向的位置,解决了空间受限问题,减少了气缸的使用数量,用最简单的方式,以最大限度解决了硅片在翻面过程中的磨损、表面刮花、破裂等问题的出现;可实现一次性水平放置多片,且能同时满上下两面进行取放,提高转运效率和灵活性。
附图说明
图1是本发明优选实施例的整体结构立体图;
图2是本发明优选实施例的整体结构主视图;
图3是本发明优选实施例中放置板设置在型材架上立体图;
图4是本发明优选实施例中夹持机构立体图;
图5是图4中A处局部放大图;
图6是硅片放置在机构上示意图。
附图标记:型材架10、放置板2、通槽21、夹持机构3、固定板31、突出部311、避让槽312、驱动装置32、夹杆33、卡槽331、辅助支撑装置4、导轨41、移动块42。
具体实施方式
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