[发明专利]搬送装置和基板的搬送方法

权利要求书

1.一种搬送装置，其具有对基板的被保持面进行保持并搬送的保持面，其中，

该搬送装置具有：

保持垫，其与该基板的该被保持面的外周部或该基板的侧面接触，在该基板的该被保持面与该保持面之间形成填充水的空间；

移动单元，其使该保持垫在相对于该被保持面接近或远离的方向上移动；

水提供单元，其向该空间提供水；以及

吸引单元，其对填充到该空间的水进行吸引而提高对该基板进行保持的力，

该搬送装置借助该水而利用该保持垫对该基板进行保持并搬送。

2.根据权利要求1所述的搬送装置，其中，

该吸引单元具有吸引泵，该吸引泵与吸引源和该空间连接，包含按照吸引一定量的填充到该空间的水的方式进行控制的开闭阀。

3.根据权利要求1所述的搬送装置，其中，

该移动单元具有：

臂，其经由吸引泵而与该保持垫连接；以及

升降单元，其使该臂升降，

该吸引单元伴随着该臂的升降而对该吸引泵进行驱动，从而对填充到该空间的水进行吸引。

4.根据权利要求1所述的搬送装置，其中，

该基板的被该保持垫保持的该被保持面具有形成于中央的凹部和围绕该凹部的凸部，

该保持垫与该凸部接触。

5.根据权利要求1所述的搬送装置，其中，

该保持垫具有与该被保持面对置的该保持面，

该保持面具有形成于中央的凹部和围绕该凹部的凸部，

该凸部与该基板的该被保持面的外周部或该基板的侧面接触，在该保持面与该基板之间形成填充水的该空间。

6.根据权利要求1所述的搬送装置，其中，

该搬送装置还具有对该水赋予振动的超声波振子。

7.根据权利要求1所述的搬送装置，其中，

在该保持垫的外周部具有与吸引源连通且对该被保持面的外周部进行吸引保持的一个或多个吸引孔。

8.一种基板的搬送方法，利用保持垫的保持面对基板的被保持面进行保持并搬送，其中，

该基板的搬送方法具有如下的步骤：

水提供步骤，向该基板的该被保持面提供水；

保持垫接触步骤，使该基板的该被保持面的外周部或该基板的侧面与该保持面接触而形成填充水的空间；以及

吸引步骤，对填充到该空间的水进行吸引而提高对该基板进行保持的力。