[发明专利]一种OLED器件及其制备方法在审
申请号: | 202210119910.6 | 申请日: | 2022-02-09 |
公开(公告)号: | CN114464756A | 公开(公告)日: | 2022-05-10 |
发明(设计)人: | 曹辰辉;税新凤;庞玉东;魏斌 | 申请(专利权)人: | 安徽秀朗新材料科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 | 代理人: | 王月松 |
地址: | 239500 安徽省滁州*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 oled 器件 及其 制备 方法 | ||
本发明公开了一种OLED器件及其制备方法,涉及有机发光半导体技术领域。该OLED器件包括:由下到上依次排布的基板、金属反射电极、有机层、金属半透明电极和DBR;其中,所述金属反射电极、所述有机层和所述金属半透明电极构成第一微腔;所述金属半透明电极与所述DBR构成第二微腔。本发明的双微腔效应不需要在器件结构中放置一层薄层金属,避免了金属颗粒会渗透进有机层,易造成器件导通的问题。
技术领域
本发明涉及有机发光半导体技术领域,特别是涉及一种OLED器件及其制备方法。
背景技术
TEOLED由于光从上侧发射,TFT驱动电路可以布置在底部基板侧,理论开口率可以达到100%,更有利于OLED器件与电路的集成。而且TEOLED器件还具有提高器件效率、窄化光谱和提高色纯度的优点,所以特别适合用来制备大尺寸、高清晰度、全彩色的有源显示设备。
现有的技术通过在TEOLED器件结构中放置金属超薄层,一般是Al、Ag等金属,然而蒸镀时金属的大密度、高速率会使金属颗粒渗透进有机层,极易导致器件导通。
因此,如何设计一种不易导通的OLED器件,成为本领域亟需解决的技术问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种OLED器件及其制备方法,解决了现有TEOLED器件中金属颗粒容易渗透进有机层导致导通的问题。
为实现上述目的,本发明提供了如下方案:
一种OLED器件,该器件包括:
由下到上依次排布的基板、金属反射电极、有机层、金属半透明电极和DBR;
其中,所述金属反射电极、所述有机层和所述金属半透明电极构成第一微腔;所述金属半透明电极与所述DBR构成第二微腔。
可选的,所述金属反射电极为Al或Ag。
可选的,所述金属反射电极的厚度大于100nm。
可选的,所述有机层包括:空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层、空穴阻挡层和电子阻挡层。
可选的,所述金属半透明电极为Al或Ag。
可选的,所述金属半透明电极的厚度不超过10nm。
可选的,所述DBR的材料为氧化钼和硫化锌。
可选的,所述DBR中每一层材料的厚度为10-40nm。
可选的,所述DBR中的两种材料的折射率相差大于2。
本发明还提供了一种OLED器件的制备方法,该制备方法包括以下步骤:
制备基板;
依次将金属反射电极、有机层、金属半透明电极和DBR蒸镀至所述基板上;其中,所述金属反射电极、所述有机层和所述金属半透明电极构成第一微腔;所述金属半透明电极与所述DBR构成第二微腔。
根据本发明提供的具体实施例,本发明公开了以下技术效果:
本发明提供了一种OLED器件及其制备方法,该OLED器件包括:由下到上依次排布的基板、金属反射电极、有机层、金属半透明电极和DBR;其中,所述金属反射电极、所述有机层和所述金属半透明电极构成第一微腔;所述金属半透明电极与所述DBR构成第二微腔。在现有技术中,金属反射电极和金属半透明电极之间设置有金属超薄层,金属反射电极和金属超薄层构成第一微腔,金属超薄层和金属半透明电极构成第二微腔,蒸镀时金属的大密度、高速率会使金属颗粒渗透进有机层,极易导致器件导通。然而,本发明的双微腔效应不需要在器件结构中放置一层薄层金属,避免了金属颗粒会渗透进有机层,易造成器件导通的问题。
附图说明
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择