[发明专利]一种晶舟装载器及传片系统

说明书

本发明公开了一种晶舟装载器及传片系统，涉及半导体技术领域。该晶舟装载器包括存片仓及活动门组件，存片仓设置有仓口，活动门组件包括门框、第一驱动件、支撑件、第二驱动件及门体，门框与存片仓连接，第一驱动件设置于门框内并与支撑件连接，第二驱动件设置于支撑件上并与门体连接，第一驱动件用于驱动支撑件在第一方向上运动，以使支撑件带动门体运动至与仓口在第二方向上对齐或错位，第二驱动件用于驱动门体相对支撑件在第二方向上运动，以使门体封盖仓口或解除对仓口的封盖。本发明提供的晶舟装载器能够自动开启或关闭仓门，提升传片效率，密封性更佳。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种晶舟装载器及传片系统。

背景技术

目前，晶舟装载器（Vacuum Cassette Elevator，VCE）的存片仓用于建立一定程度的真空环境存放晶片。

目前，市面上的晶舟装载器采用手动开启或关闭存片仓的仓口，导致传片效率低，且密封性难以保障。

发明内容

本发明的目的在于提供一种晶舟装载器，其能够自动开启或关闭仓口，提升传片效率，密封性更佳。

本发明的另一目的在于提供一种传片系统，其能够自动开启或关闭仓门，提升传片效率，密封性更佳。

本发明提供一种技术方案：

一种晶舟装载器，包括存片仓及活动门组件，所述存片仓设置有仓口，所述活动门组件包括门框、第一驱动件、支撑件、第二驱动件及门体，所述门框与所述存片仓连接，所述第一驱动件设置于所述门框内并与所述支撑件连接，所述第二驱动件设置于所述支撑件上并与所述门体连接，所述第一驱动件用于驱动所述支撑件在第一方向上运动，以使所述支撑件带动所述门体运动至与所述仓口在第二方向上对齐或错位，所述第二驱动件用于驱动所述门体相对所述支撑件在所述第二方向上运动，以使所述门体封盖所述仓口或解除对所述仓口的封盖。

进一步地，所述第一方向与所述第二方向垂直。

进一步地，所述第一方向为竖直方向，所述第一驱动件为气缸，用于驱动所述支撑件在竖直方向上做直线往复运动。

进一步地，所述第二方向为水平方向，所述第二驱动件为气缸，用于驱动所述门体相对所述支撑件在水平方向上做直线往复运动。

进一步地，所述支撑件与所述门体为在竖直方向上并列设置的两个板体，所述第二驱动件的数量为多个，多个所述第二驱动件在所述门体上均匀分布。

进一步地，所述存片仓的外壁上环绕所述仓口设置有密封圈，在所述门体封盖所述仓口的情况下，所述门体贴合并抵持所述密封圈。

进一步地，所述存片仓上设置有门楣，所述门楣上设置有第一固定件，所述支撑件上设置有第二固定件，在所述门体与所述仓口在所述第二方向上对齐的情况下，所述第二固定件与所述第一固定件相配合。

进一步地，所述第一固定件处于所述仓口在竖直方向上的上端，所述第二固定件设置于所述支撑件的竖直上端。

进一步地，所述第一固定件与所述第二固定件均为磁铁。

本发明还提供一种传片系统，包括所述的晶舟装载器，所述晶舟装载器包括存片仓及活动门组件，所述存片仓设置有仓口；所述活动门组件包括门框、第一驱动件、支撑件、第二驱动件及门体，所述门框与所述存片仓连接，所述第一驱动件设置于所述门框内并与所述支撑件连接，所述第二驱动件设置于所述支撑件上并与所述门体连接，所述第一驱动件用于驱动所述支撑件在第一方向上运动，以使所述支撑件带动所述门体运动至与所述仓口在第二方向上对齐或错位，所述第二驱动件用于驱动所述门体相对所述支撑件在所述第二方向上运动，以使所述门体封盖所述仓口或解除对所述仓口的封盖。