[发明专利]显示面板及显示面板的制备方法在审

专利信息
申请号: 202210072145.7 申请日: 2022-01-21
公开(公告)号: CN114464629A 公开(公告)日: 2022-05-10
发明(设计)人: 龚吉祥;阳志林 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L27/32;H01L21/84
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 苏蕾
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 显示 面板 制备 方法
【说明书】:

发明实施例提供一种显示面板及制备方法。显示面板包括屏蔽层、薄膜晶体管器件层,以及对应设置的第一过孔、第二过孔,设置在绑定区域内的第三过孔。其中,第一过孔、第三过孔均设置为阶梯孔,且第一过孔、第二过孔和第三过孔通过同一蚀刻工艺蚀刻形成。采用一道光罩处理,节省光罩次数并降低生产成本。

技术领域

本发明涉及显示面板的设计及制造技术领域,具体涉及一种显示面板及显示面板的制备方法。

背景技术

随着显示面板制备工艺的等显示技术的发展,人们对显示面板及装置的性能及质量均提出了更高的要求。

有机发光二极管(Organic light-emitting diode,OLED)器件因其较传统的液晶显示器(Liquid crystal display,LCD)相比具有重量轻巧,广视角,发光效率高等优点,而被众多领域所使用。有机发光二极管器件包括阵列基板,阵列基板内设置多个薄膜晶体管器件,薄膜晶体管器件性能的好坏将直接影响到整个发光器件的性能。随着可穿戴设备及可穿戴显示领域的发展,人们对显示设备的功耗要求也越来越高。目前采用低温多晶氧化物(low temperature poly-crystalline-Si oxide,LTPO)工艺以及氧化铟镓锌(indiumgalliumzinc oxide,IGZO)工艺进行制备,从而形成一种响应速度快,功耗更低的显示面板。但是现有技术在制备形成上述器件时,不能很好的将上述工艺兼容,并且制备工艺较复杂,需要多层膜以及较多道次的蚀刻工艺,制备成本较高,不利于面板综合性能的提高。

综上所述,现有技术中制备得到的发光器件的制备工艺较复杂,并且制备成本较高,不利于发光器件综合性能的提升。

发明内容

本发明实施例提供一种显示面板及显示面板的制备方法,以有效的改善显示面板的制程工艺,降低显示面板的生产成本。

为解决上述技术问题,本发明实施例所提供的技术方法如下:

本发明实施例的第一方面,提供了一种显示面板,包括显示区域以及设置在所述显示区域一侧的绑定区域,所述显示面板包括:

衬底;

屏蔽层,所述屏蔽层设置在所述衬底上;

设置在所述屏蔽层之上的薄膜晶体管器件层,所述薄膜晶体管器件层包括设置在所述显示区域内的第一薄膜晶体管,以及与所述第一薄膜晶体管电连接的第二薄膜晶体管,所述第一薄膜晶体管的第一源/漏极通过第一过孔与第一有源层电连接,所述第二薄膜晶体管的第二源/漏极通过第二过孔与第二有源层电连接;

其中,所述显示面板还包括位于所述绑定区域内的第三过孔,所述第三过孔贯穿所述第二源/漏极至所述衬底之间的膜层,所述第一过孔、所述第二过孔以及第三过孔设置为阶梯孔,且所述第一过孔、所述第三过孔的顶部至所述阶梯孔对应的第一台阶平台之间的距离相同。

根据本发明一实施例,所述第一过孔、所述第二过孔以及所述第三过孔对应的所述阶梯孔中至少有一个台阶平台位于同一膜层上。

根据本发明一实施例,所述第三过孔包括第一台阶平台和第二台阶平台,所述第一台阶平台位于所述第二台阶平台上方,且从所述第一台阶到所述第二台阶平台,所述第三过孔的孔径逐渐减小。

根据本发明一实施例,所述第三过孔的开口表面到所述第一台阶平台之间的距离小于所述第一台阶平台到所述第二台阶平台之间的距离,且所述第一台阶平台到所述第二台阶平台之间的距离大于所述第二台阶平台到所述第三过孔的底部之间的距离。

根据本发明一实施例,所述第一台阶平台与所述第二薄膜晶体管的第二有源层同层设置。

根据本发明一实施例,所述第二台阶平台设置在所述第一有源层对应的膜层中,且所述第二台阶平台位于所述膜层内部。

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