[发明专利]一种用于半导体晶片的光刻胶涂抹装置

说明书

本发明公开了一种用于半导体晶片的光刻胶涂抹装置，属于晶片加工技术领域，一种用于半导体晶片的光刻胶涂抹装置，包括箱体、机器手臂、存储罐和晶片本体，所述存储罐位于箱体内，所述存储罐侧壁联通有进气管，所述箱体内设有电机，所述电机的输出端连接有第一转轴，所述存储罐上设有投料口，所述投料口上螺纹连接有密封盖，所述密封盖内设有辅助密封机构，所述箱体内转动连接有第四转轴，所述第一转轴和第四转轴之间通过第二皮带相连接，所述第四转轴上设有风扇，所述箱体内设有空心罩；本发明工作简单，稳定可靠，实现防止氮气泄露的同时，又对晶片本体周围的灰尘进去去除，良品率得到提升。

技术领域

本发明涉及晶片加工技术领域，尤其涉及一种用于半导体晶片的光刻胶涂抹装置。

背景技术

目前，随着科技的快速发展，格式各种的芯片也越来越多，在芯片的生产过程初期，需要用到光刻胶，需要将光刻胶涂抹在半导体晶片表面，然后通过光刻机进行加工，在将光刻胶涂抹在产品表面时，一般采用加注氮气对光刻胶进行输送，在工作过程中，一旦氮气泄露，会照成工作人员昏迷的安全隐患，严重情况下，会直接窒息，但是目前市场上的光刻胶涂抹装置，并没有防止氮气泄露的功能，以及氮气一旦泄露，无法快速报警，以保护工作人员自身安全，以及在涂抹过程中，周围容易出现灰尘，导致良品率较低。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中并没有防止氮气泄露的功能，以及氮气一旦泄露，无法快速报警，以保护工作人员自身安全，以及在涂抹过程中，周围容易出现灰尘，导致良品率较低等问题，而提出的一种用于半导体晶片的光刻胶涂抹装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种用于半导体晶片的光刻胶涂抹装置，包括箱体、机器手臂、存储罐和晶片本体，所述存储罐位于箱体内，所述存储罐侧壁联通有进气管，所述箱体内设有电机，所述电机的输出端连接有第一转轴，所述存储罐上设有投料口，所述投料口上螺纹连接有密封盖，所述密封盖内设有辅助密封机构，所述箱体内转动连接有第四转轴，所述第一转轴和第四转轴之间通过第二皮带相连接，所述第四转轴上设有风扇，所述箱体内设有空心罩，所述风扇位于空心罩内，所述投料口侧壁设有挡板，所述挡板与空心罩之间连接有第四空心管，所述箱体内设有过滤箱，所述过滤箱与空心罩之间连接有第五空心管，所述过滤箱内设有过滤层，所述箱体上设有吸尘筒，所述吸尘筒底部设有静电发生机构。

优选的，所述箱体上设有工作台，所述晶片本体位于工作台上，所述箱体上固定连接有架体，所述架体侧壁设有机器手臂，所述机器手臂的输出端连接有涂抹管，所述涂抹管与存储罐之间连接有第一空心管，所述第一空心管上设有电磁阀。

优选的，所述辅助密封机构包括第一滑动板和第二滑动板，所述密封盖内设有滑动槽，所述第一滑动板和第二滑动板均滑动连接在滑动槽内，所述第一滑动板和第二滑动板之间设有第二弹簧，所述第一滑动板和投料口上均设有橡胶垫。

优选的，所述箱体内设有第二活塞，所述第一转轴上设有第二曲轴，所述第二活塞与第二曲轴转动连接，所述第二活塞与滑动槽之间连接有第三空心管，所述第三空心管上设有第二转动开关、泄压阀和单向阀。

优选的，所述静电发生机构包括第一摩擦片和第二摩擦片，所述箱体上设有导电板，所述吸尘筒固定在导电板上，所述第二摩擦片固定在导电板底部，所述第四转轴上固定连接有凹型筒，所述第一摩擦片滑动连接在凹型筒内，所述第一摩擦片与凹型筒之间设有第一弹簧，所述第一摩擦片和第二摩擦片相贴，所述第一摩擦片侧壁设有滑动杆。

优选的，所述箱体顶部转动连接有空心筒，所述工作台固定在空心筒上，所述箱体内转动连接有第二转轴和第三转轴，所述第一转轴上设有蜗杆，所述第二转轴上分别设有蜗轮和第一齿轮，所述蜗轮与蜗杆啮合连接，所述第三转轴上设有与第一齿轮啮合连接的第二齿轮，所述第三转轴与空心筒之间通过第一皮带相连接。