[发明专利]一种电池片镀膜系统在审
| 申请号: | 202210044865.2 | 申请日: | 2022-01-14 |
| 公开(公告)号: | CN114351124A | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
| 发明(设计)人: | 杨宝海;李义升;李翔;李轶军 | 申请(专利权)人: | 营口金辰机械股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/54 | 分类号: | C23C16/54;C23C16/24;C23C16/50;H01L31/072;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 任晓;徐川 |
| 地址: | 115000 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 电池 镀膜 系统 | ||
1.一种电池片镀膜系统,其特征在于,所述电池片镀膜系统包括:
用于输送电池片的输送线,所述输送线具有多个传输工位;
设置于所述输送线的传输工位旁侧的多个镀膜模块,所述镀膜模块与所述传输工位之间传送电池片,多个所述镀膜模块包括:
第一镀膜模块,包括至少一个用于对电池片的第一面镀第一本征层的第一镀膜装置;
第二镀膜模块,包括至少一个用于对电池片的第二面镀第二本征层的第二镀膜装置;
第三镀膜模块,包括至少一个用于在所述第一本征层上镀N型掺杂层的第三镀膜装置;
第四镀膜模块,包括至少一个用于在所述第二本征层上镀P型掺杂层的第四镀膜装置;其中,所述第一镀膜装置、所述第二镀膜装置、所述第三镀膜装置以及所述第四镀膜装置中的至少一者的数量不小于两个。
2.根据权利要求1所述的电池片镀膜系统,其特征在于,所述第一镀膜装置、所述第二镀膜装置、所述第三镀膜装置以及所述第四镀膜装置中,镀膜所需时长最长者的数量不小于两个。
3.根据权利要求1所述的电池片镀膜系统,其特征在于,所述第一镀膜装置、所述第二镀膜装置、所述第三镀膜装置以及所述第四镀膜装置中,镀膜所需时长最长者的数量最多。
4.根据权利要求1所述的电池片镀膜系统,其特征在于,所述第一镀膜模块与所述第三镀膜模块沿输送方向相邻;和\或,所述第二镀膜模块与所述第四镀膜模块沿输送方向相邻。
5.根据权利要求1所述的电池片镀膜系统,其特征在于,所述输送线包括至少一个用于翻转电池片的翻转工位,所述翻转工位位于所述第三镀膜模块和所述第四镀膜模块之间。
6.根据权利要求5所述的电池片镀膜系统,其特征在于,所述翻转工位的数目为一个,所述第一镀膜模块与所述第三镀膜模块沿输送方向相邻,所述第二镀膜模块与所述第四镀膜模块沿输送方向相邻;所述翻转工位位于所述第三镀膜模块与所述第二镀膜模块之间的所述输送线上;或者,所述翻转工位位于所述第四镀膜模块与所述第一镀膜模块之间的所述输送线上。
7.根据权利要求5所述的电池片镀膜系统,其特征在于,所述翻转工位的数目为两个,所述第一镀膜模块与所述第三镀膜模块沿输送方向相邻,一所述翻转工位位于第二镀膜模块与所述第一镀膜模块之间的所述输送线上,另一所述翻转工位位于所述第三镀膜模块与所述第四镀膜模块之间的所述输送线上;或者,所述第二镀膜模块与所述第四镀膜模块沿输送方向相邻,一所述翻转工位位于第一镀膜模块与所述第二镀膜模块之间的所述输送线上,另一所述翻转工位位于所述第四镀膜模块与所述第三镀膜模块之间的所述输送线上。
8.根据权利要求1所述的电池片镀膜系统,其特征在于,所述输送线包括至少一个用于加热电池片的加热工位、至少一个用于将电池片送入真空环境的进片工位、至少一个用于将电池片送出真空环境的出片工位;所述输送线和各所述镀膜模块沿输送方向形成至少一个真空处理工艺段,每个所述真空处理段均设置有所述进片工位、所述出片工位以及所述加热工位,所述进片工位位于所述真空处理工艺段的首端处,所述加热工位位于所述进片工位和所述传输工位之间,所述出片工位位于所述真空处理工艺段的末端处。
9.根据权利要求1所述的电池片镀膜系统,其特征在于,至少一所述传输工位沿输送方向的一侧设有所述第一镀膜装置,另一侧设有所述第三镀膜装置。
10.根据权利要求1所述的电池片镀膜系统,其特征在于,至少一所述传输工位沿输送方向的一侧设有所述第二镀膜装置,另一侧设有所述第四镀膜装置。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





