[发明专利]基板处理装置

说明书

一种将长条的片状基板于长条方向上搬送并对片状基板实施既定的处理的基板处理装置，且设置有：处理机构，其对片状基板的长条方向的每一部分实施既定的处理；搬送机构，其一面对通过处理机构的片状基板赋予既定的张力，一面将片状基板按照既定速度于长条方向上搬送；卡留机构，其配置于片状基板的搬送路径中的既定位置，且能够将片状基板卡留于既定位置；以及控制装置，其于暂时停止片状基板的搬送的情形时，以使片状基板的搬送速度降低的方式控制搬送机构，并且以于搬送速度成为既定值以下的时点将片状基板卡留于既定位置的方式控制卡留机构。

本申请是申请日为2017年8月7日，申请号为201780048591.1，发明名称为“基板处理装置”的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明关于一种一面将软性的长条的片状基板于长条方向上搬送，一面对片状基板实施既定的处理的基板处理装置及基板处理方法。

背景技术

于日本专利特开2009-146746号公报中，揭示有如下的卷对卷方式的制造系统，即，为了于带状的可挠性基材(可挠性的长条的塑胶膜)上形成电子装置(有机EL显示面板)，将卷成卷筒状的可挠性基材拉出并沿长条方向搬送，并且利用沿长条方向排列的执行多个形成步骤的各者之处理装置对可挠性基材依次进行处理，然后卷取成卷筒状。进一步，于日本专利特开2009-146746号公报中，揭示设置有用于各形成步骤(处理装置)之间的可挠性基材的速度调整的累积器，而连续生产有机EL显示面板。于此种卷对卷方式的生产线的情形时，为了将呈带状相连的长条的1片可挠性基材(软性的长条的片状基板)于长条方向上连续搬送，构成生产线的多个处理装置的各者理想为跨及连续搬送的可挠性基材的全长(卷筒长度)而持续正常地运转。

然而，根据处理装置，亦存在为了该装置的性能维持、或制造的电子装置的品质维持等，宜中断片状基板的处理动作，并进行处理装置的调整作业(消耗品的补充动作或更新动作、清洁动作、校准动作等)的情形。又，于暂时性地中断处理的处理装置为图案化装置(印刷机、喷墨印表机、曝光装置、转印装置、压印装置等)的情形时，若为了调整作业而停止片状基板的搬送并将片状基板自搬送辊等卸除或松开，则存在于处理重新开始后形成于片状基板上的图案区域的位置相对于调整作业前已经形成的图案区域的位置较大地偏移的情况。

发明内容

本发明的第1态样为一种基板处理装置，将长条的片状基板于长条方向上搬送，并对上述片状基板实施既定的处理者，其具备：处理机构，对上述片状基板的长条方向的每一部分实施上述既定的处理；搬送机构，一面对通过上述处理机构的上述片状基板赋予既定的张力，一面将上述片状基板按照既定速度于上述长条方向上搬送；卡留机构，配置于上述片状基板的搬送路径中的既定位置，且能够将上述片状基板卡留于上述既定位置；以及控制装置，于使上述片状基板的搬送暂时停止的情形时，以使上述片状基板的搬送速度降低的方式控制上述搬送机构，并且以于上述搬送速度为既定值以下的时点将上述片状基板卡留于上述既定位置的方式控制上述卡留机构。

本发明的第2态样为一种基板处理装置，其将长条的片状基板于长条方向上搬送，并对上述片状基板实施既定的处理者，其具备：处理机构，其对上述片状基板的长条方向的每一部分实施上述既定的处理；搬送机构，其以上述片状基板按照被控制的速度通过上述处理机构的方式，一面对上述片状基板的搬送量进行计测，一面将上述片状基板于上述长条方向上搬送；张力赋予机构，其对通过上述搬送机构搬送的上述片状基板赋予既定的张力；既定位置存储部，其基于上述搬送机构中所计测的上述搬送量而存储上述处理机构的上述既定的处理被暂时性地中断的上述片状基板上的既定位置、或上述既定的处理重新开始的既定位置；以及控制装置，其以如下方式控制上述搬送机构，即，于暂时性地中断上述既定的处理的情形时，将上述既定位置存储至上述既定位置存储部之后，利用抑制上述搬送机构中的上述片状基板的滑动的产生的特性使上述片状基板的搬送速度降低。