[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 202180051984.4 | 申请日: | 2021-04-28 |
公开(公告)号: | CN116114052A | 公开(公告)日: | 2023-05-12 |
发明(设计)人: | 金田达志 | 申请(专利权)人: | 住友电气工业株式会社 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 李丹 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
半导体装置具有:第一绝缘基板;第二绝缘基板;第一臂;第二臂,连接到所述第一臂;以及第一导电图案,设置在所述第一绝缘基板之上,所述第一臂具有设置在所述第一绝缘基板的多个第一晶体管芯片,所述第二臂具有设置在所述第二绝缘基板的半导体芯片,所述多个第一晶体管芯片在所述第一绝缘基板之上相互相邻地配置,所述多个第一晶体管的第一电极直接连接到所述第一导电图案,所述第一电极是源极电极或发射极电极。
技术领域
本公开涉及半导体装置。
本申请主张基于2020年9月18日申请的日本申请第2020-157444号的优先权,并引用所述日本申请所记载的全部记载内容。
背景技术
作为功率模块所使用的半导体装置,提出了晶体管的源极电极或发射极电极与二极管的阳极电极相互连接的半导体装置。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2015-154079号公报
专利文献2:日本特开2019-71490号公报
专利文献3:美国专利申请公开第2017/0125322号说明书
发明内容
本公开的半导体装置具有:第一绝缘基板;第二绝缘基板;第一臂;第二臂,连接到所述第一臂;以及第一导电图案,设置在所述第一绝缘基板之上,所述第一臂具有设置在所述第一绝缘基板的多个第一晶体管芯片,所述第二臂具有设置在所述第二绝缘基板的半导体芯片,所述多个第一晶体管芯片在所述第一绝缘基板之上相互相邻地配置,所述多个第一晶体管的第一电极直接连接到所述第一导电图案,所述第一电极是源极电极或发射极电极。
附图说明
图1是示出第一实施方式所涉及的半导体装置的立体图。
图2是示出第一实施方式所涉及的半导体装置的俯视图。
图3是示出第一实施方式所涉及的半导体装置中的散热板、第一绝缘基板以及第二绝缘基板的关系的剖视图。
图4是示出第一晶体管的剖视图。
图5是示出第一二极管的剖视图。
图6是示出第二晶体管的剖视图。
图7是示出第二二极管的剖视图。
图8是示出第一实施方式所涉及的半导体装置的电路图。
图9是示出第一实施方式所涉及的半导体装置的动作的示意图(其一)。
图10是示出第一实施方式所涉及的半导体装置的动作的示意图(其二)。
图11是示出第一实施方式所涉及的半导体装置的动作的示意图(其三)。
图12是示出第一实施方式所涉及的半导体装置的动作的示意图(其四)。
图13是示出散热板的变形例的剖视图。
图14是示出第二实施方式所涉及的半导体装置中的第一绝缘基板和第二绝缘基板的构成的示意图。
图15是示出第三实施方式所涉及的半导体装置的俯视图。
图16是示出第四实施方式所涉及的半导体装置的俯视图。
图17是示出第四实施方式所涉及的半导体装置的电路图。
具体实施方式
[本公开要解决的技术问题]
期望实现并联连接的多个晶体管的更稳定的动作。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造