[发明专利]半导体元件被覆用玻璃以及使用其的半导体被覆用材料在审
申请号: | 202180013428.8 | 申请日: | 2021-01-26 |
公开(公告)号: | CN115066404A | 公开(公告)日: | 2022-09-16 |
发明(设计)人: | 广濑将行 | 申请(专利权)人: | 日本电气硝子株式会社 |
主分类号: | C03C3/066 | 分类号: | C03C3/066;H01L21/316 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 元件 被覆 玻璃 以及 使用 用材 | ||
1.一种半导体元件被覆用玻璃,其特征在于,以摩尔%计含有ZnO+SiO2 40%~65%、B2O3 7%~25%、A2O3 5%~15%、MgO 8%~22%作为玻璃组成,实质上不含铅成分。
2.根据权利要求1所述的半导体元件被覆用玻璃,其特征在于,摩尔比SiO2/ZnO为0.5~2.0。
3.根据权利要求1或2所述的半导体元件被覆用玻璃,其特征在于,摩尔比Al2O3/(ZnO+SiO2)为0.08~0.30。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的半导体元件被覆用玻璃,其特征在于,30℃~300℃的温度范围内的热膨胀系数为20×10-7/℃~55×10-7/℃。
5.一种半导体元件被覆用材料,其特征在于,含有包含权利要求1~3中任一项所述的半导体元件被覆用的玻璃粉末75质量%~100质量%、陶瓷粉末0质量%~25质量%。
6.根据权利要求5所述的半导体元件被覆用材料,其特征在于,30~300℃的温度范围内的热膨胀系数为20×10-7/℃~55×10-7/℃。
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