[实用新型]一种半导体芯片测试用探针卡有效
| 申请号: | 202123336734.1 | 申请日: | 2021-12-28 |
| 公开(公告)号: | CN217360016U | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
| 发明(设计)人: | 余新文;陈洪良 | 申请(专利权)人: | 苏州速腾电子科技有限公司 |
| 主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073 |
| 代理公司: | 上海利迅知识产权代理有限公司 31462 | 代理人: | 孙刚 |
| 地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 芯片 测试 探针 | ||
1.一种半导体芯片测试用探针卡,包括设置在印刷电路板(1)上的探针基座(2),以及设在探针基座(2)上的探针(4),其特征在于,所述印刷电路板(1)的顶部设置有第一连接环(5),且第一连接环(5)的顶部设置有第二连接环(6),所述第二连接环(6)的顶部设置有保护罩(7),所述印刷电路板(1)顶部的四角处皆设置有卡接机构(8),所述印刷电路板(1)的侧边设置有与卡接机构(8)一一对应且对齐的驱动组件(3)。
2.根据权利要求1所述的半导体芯片测试用探针卡,其特征在于:所述卡接机构(8)包括与印刷电路板(1)顶部连接的套筒以及固定在保护罩(7)外部的固定块(10),所述套筒的内部转动连接有转杆(9),且转杆(9)的顶部设置有转钮(11),所述转杆(9)的一侧设置有弧形板(12),且弧形板(12)上设置有卡合组件(20)。
3.根据权利要求2所述的半导体芯片测试用探针卡,其特征在于:所述驱动组件(3)包括设置在印刷电路板(1)一侧的固定盒(13)以及开设在印刷电路板(1)内部的空腔(14),所述空腔(14)与固定盒(13)之间通过通孔连通,所述固定盒(13)的内部设置有第一活塞(15),且第一活塞(15)的顶部设置有贯穿至固定盒(13)顶部的按压块(19)。
4.根据权利要求3所述的半导体芯片测试用探针卡,其特征在于:所述空腔(14)的内部设置有第二活塞(16),且第二活塞(16)的顶部设置有卡接块(17),所述驱动组件(3)还包括设置在转杆(9)内底端的卡接槽(18),所述卡接槽(18)与卡接块(17)相配合。
5.根据权利要求2所述的半导体芯片测试用探针卡,其特征在于:所述卡合组件(20)包括设置在固定块(10)一侧的开槽(21)以及设置在弧形板(12)上下两端的凹槽(22),所述凹槽(22)的内部连接有弹片(23),且弹片(23)的另一端设置有卡头(24),所述凹槽(22)的上下两端皆开设有与卡头(24)相配合的卡槽(25)。
6.根据权利要求1所述的半导体芯片测试用探针卡,其特征在于:所述第一连接环(5)的底端与印刷电路板(1)的顶部通过粘合材料固定,所述第二连接环(6)的顶部与保护罩(7)的底部通过粘合材料固定。
7.根据权利要求4所述的半导体芯片测试用探针卡,其特征在于:所述卡接块(17)和卡接槽(18)的横截面皆为矩形结构。
8.根据权利要求4所述的半导体芯片测试用探针卡,其特征在于:所述卡接块(17)和卡接槽(18)的横截面皆为“米”字形结构。
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