[实用新型]一种天车防侧倾驱动机构

说明书

本实用新型涉及一种天车防侧倾驱动机构，包含驱动基座以及设置在驱动基座上的驱动电机、行走轮和防倾支架；所述行走轮设置在驱动基座的左右两侧，驱动电机带动行走轮转动，行走轮带动驱动基座沿轨道行走；所述防倾支架上设置有防倾驱动装置和防倾滑板，防倾驱动装置带动防倾滑板左右滑动，防倾滑板的左右两端上均设置有防倾卡勾，防倾卡勾用于卡住轨道；本方案在驱动基座上设计了防倾机构，采用防倾驱动装置控制防倾滑板向负载方向相反的一侧滑动，使其可以通过防倾卡勾卡住该侧轨道，即可防止天车倾斜；整体结构简单稳定，可以避免造成天车搬运失准等情况的产生，保证了天车的工作效率，并降低了其运行风险。

技术领域

本实用新型涉及一种天车防侧倾驱动机构，属于半导体搬运加工设备技术领域。

背景技术

天车是半导体制程中常用的晶圆搬运设备，天车上一般设置有可伸缩和升降的抓取机构，天车沿着轨道移动，带动抓取装置来搬运转移晶圆；抓取装置一般采用的双向伸缩结构，即可以根据抓取需要，选择向天车的左侧或右侧伸出，由于天车是悬挂结构，抓取装置伸出并抓取晶圆盒的过程中，天车的重心会向该侧倾斜，如果负载较大，则可能会导致天车失准，搬运机构错位等情况，造成不必要的损失。

实用新型内容

本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种结构优化、运行稳定、输送效率高的天车防侧倾驱动机构。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种天车防侧倾驱动机构，包含驱动基座以及设置在驱动基座上的驱动电机、行走轮和防倾支架；所述行走轮设置在驱动基座的左右两侧，驱动电机带动行走轮转动，行走轮带动驱动基座沿轨道行走；所述防倾支架上设置有防倾驱动装置和防倾滑板，防倾驱动装置带动防倾滑板左右滑动，防倾滑板的左右两端上均设置有防倾卡勾，防倾卡勾用于卡住轨道。

优选的，所述驱动基座的上侧设置有变轨组件，变轨组件上设置有上导向轮，驱动基座的下侧设置有下导向轮。

优选的，所述变轨组件上设置有两个上导向轮，两个上导向轮沿驱动基座的行走方向一前一后设置。

优选的，所述驱动基座的底部四角上各设置一个下导向轮。

优选的，所述驱动基座的底部设置有转动连接座，转动连接座用于转动连接下部机构。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型方案在驱动基座上设计了防倾机构，采用防倾驱动装置控制防倾滑板向负载方向相反的一侧滑动，使其可以通过防倾卡勾卡住该侧轨道，即可防止天车倾斜；整体结构简单稳定，可以避免造成天车搬运失准等情况的产生，保证了天车的工作效率，并降低了其运行风险。

附图说明

下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明：

附图1为本实用新型所述的天车防侧倾驱动机构的立体结构示意图；

附图2为天车防侧倾驱动机构另一视角的立体结构示意图；

附图3为本实用新型所述的天车防侧倾驱动机构的俯视图。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

如图1-3所示，本实用新型所述的一种天车防侧倾驱动机构，包含驱动基座21以及设置在驱动基座21上的驱动电机22、行走轮23、上导向轮24、下导向轮25和防倾支架31；所述行走轮23设置在驱动基座21的左右两侧，驱动电机22通过减速机构带动行走轮23转动，使行走轮23可以带动驱动基座21沿轨道行走。

所述防倾支架31上设置有防倾驱动装置32和防倾滑板33，防倾驱动装置32可采用电机，在输出端设置齿轮，防倾滑板33上设置齿条，电机正反转可以通过齿轮齿条结构带动防倾滑板33左右滑动，防倾滑板33的左右两端上均设置有防倾卡勾34。