[实用新型]等离子体刻蚀设备及其半导体终点检测观察窗装置

权利要求书

1.一种半导体终点检测观察窗装置，包括光路管以及安装在光路管后端的透明观察窗组件，其特征在于，所述光路管在紧靠着前端的位置处配装有透明活动观察窗承接组件，所述透明活动观察窗承接组件中设置有透明活动观察窗组件；所述的透明活动观察窗组件包括透明活动观察窗，所述透明活动观察窗相对于光路管的透光位置可调。

2.根据权利要求1所述的半导体终点检测观察窗装置，其特征在于，所述的透明活动观察窗承接组件包括有承接管；承接管安装在光路管前端并沿着光路管的径向延伸；

所述的透明观察窗组件与透明活动观察窗承接组件之间通过锁定/解锁组件连接成一体；

当透明观察窗组件与透明活动观察窗承接组件处于锁定状态时，所述的透明活动观察窗配装于所述的承接管中；当透明观察窗组件与透明活动观察窗承接组件处于解锁状态时，所述的透明活动观察窗能够沿着光路管中光路的垂向相对于所述的承接管移动，直至透明活动观察窗处于承接管中的目标位置。

3.根据权利要求2所述的半导体终点检测观察窗装置，其特征在于，所述的透明活动观察窗组件还包括活动推板以及导向柱；所述的承接管上设置有导向套；

导向柱与透明活动观察窗均与所述的活动推板固定并相互平行设置；且所述的导向柱配装于所述的导向套中，并通过所述的锁定/解锁组件连接。

4.根据权利要求3所述的半导体终点检测观察窗装置，其特征在于，所述承接管的一侧通过转接法兰安装有波纹管，所述透明活动观察窗穿过所述的波纹管置于所述的承接管中；所述活动推板、导向柱分别处于波纹管的外侧，且导向柱的长度延伸方向与波纹管轴向平行，而活动推板垂直于所述波纹管轴向设置。

5.根据权利要求4所述的半导体终点检测观察窗装置，其特征在于，锁定/解锁组件包括定位销以及对穿销孔；对穿销孔包括销孔a以及排状销孔中的任意一个销孔b；销孔a设置于导向套上，排状销孔设置于导向柱，当销孔a与排状销孔中的任意一个销孔b对准而形成对穿销孔时，定位销插入对穿销孔，实现导向柱、导向套的锁定。

6.根据权利要求1所述的半导体终点检测观察窗装置，其特征在于，所述透明观察窗组件包括透明观察窗，透明观察窗通过固定法兰与光路管后端所配装的法兰连接，且所述固定法兰与光路管上的法兰之间安装有密封圈。

7.根据权利要求6所述的半导体终点检测观察窗装置，其特征在于，所述固定法兰上安装有终点检测探头，终点检测探头通过信号线连接到终点检测控制器。

8.根据权利要求7所述的半导体终点检测观察窗装置，其特征在于，所述固定法兰与透明观察窗之间设置有软垫。

9.根据权利要求1所述的半导体终点检测观察窗装置，其特征在于，所述光路管前端配装有腔室连接法兰，所述的透明活动观察窗承接组件设置于所述的腔室连接法兰与透明观察窗组件之间。

10.一种等离子体刻蚀设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项权利要求所述的半导体终点检测观察窗装置。