[实用新型]一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片

说明书

本实用新型属于硅片制造技术领域，具体的说是一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片，包括垫片；所述垫片插在石英舟顶齿的齿槽内部，所述垫片的顶部开设有弧面；所述弧面在垫片顶部为对称设置；所述垫片的底部设置有支腿；所述支腿在垫片底部设有一对，所述支腿设在垫片底部使垫片呈U字型；通过在石英舟顶齿顶部设有弧面对碎片进行引导，可减少垫片顶部的碎片，减少后续的硅片生产上下料时，因垫片上存在大量碎片而导致的硅片出现崩边的问题，提升良品率。

技术领域

本实用新型属于硅片制造技术领域，具体的说是一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片。

背景技术

在硅片生产时，需要将硅片架在石英舟顶齿机构上进行加工，而石英舟顶齿的齿槽内部需要安插有垫片来对硅片进行支撑。

现有的顶齿内部垫片为条形设置，当硅片屑掉落在垫片上时，会在垫片上堆积，影响后续的硅片支撑。

为此，本实用新型提供一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片。

实用新型内容

为了弥补现有技术的不足，解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：本实用新型所述的一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片，包括垫片；所述垫片插在石英舟顶齿的齿槽内部，所述垫片的顶部开设有弧面；所述弧面在垫片顶部为对称设置；在使用时，先将垫片放置在石英舟顶齿的齿槽内部，此时垫片就可对石英舟顶齿齿槽内部的硅片进行支撑，当石英舟顶齿顶部有硅片渣掉落时，会掉落在垫片顶部的弧面处，然后硅片渣就在重力的作用下滑落，通过在石英舟顶齿顶部设有弧面对碎片进行引导，可减少垫片顶部的碎片，减少后续的硅片生产上下料时，因垫片上存在大量碎片而导致的硅片出现崩边的问题，提升良品率。

所述垫片的底部设置有支腿；所述支腿在垫片底部设有一对，所述支腿设在垫片底部使垫片呈U字型；通过在垫片的底部设有一对支腿，可防止垫片在石英舟顶齿的齿槽内脱落，提升垫片在石英舟顶齿内部的稳定性。

所述支腿的内侧壁开设有开槽；所述开槽内部通过扭簧安装有转杆；通过在支腿内部设有转杆，可在垫片安放在石英舟顶齿的齿槽内部时，转杆可支撑在支腿与石英舟顶齿之间的缝隙处，使得垫片在石英舟顶齿的齿槽内部更加稳定，减少垫片在石英舟顶齿内部出现晃动问题。

所述转杆中部安装有多组滚轮；通过在转杆上设有多组滚轮，将转杆与石英舟顶齿的滑动摩擦替换为滚动摩擦，减少垫片放置在石英舟顶齿齿槽内部时，转杆与石英舟顶齿摩擦导致的划伤问题。

所述开槽的内侧壁固接有气囊a；所述气囊a的位置与转杆对应；通过在开槽内部设有气囊a，可在转杆受到石英舟顶齿的挤压旋转时，气囊a也可对转杆进行支撑，使得转杆在支腿上的稳定性提升，进一步降低垫片会在石英舟顶齿上的晃动幅度。

所述气囊a侧壁固接有弧形板；所述弧形板凸起的一面朝向转杆；通过在气囊a上设有弧形板，可在转杆与气囊a接触挤压时，使气囊a的受力面积更大，使得气囊a的利用提升。

所述支腿的内侧壁固接有气囊b；所述气囊b与气囊a之间连通有导气管；通过在支腿底部设有气囊b，可在气囊a受压时，其中一部分的气体会通过进入到气囊b内部，使气囊b膨胀在支腿与石英舟顶齿之间，该设置可进一步提升支腿在石英舟顶齿两侧的稳定性，减少垫片的晃动幅度。

所述导气管中部连通有喷气管；所述喷气管的另一端绕过气囊b延伸至气囊b底部；通过在导气管中部设有气囊b，可在气囊a受压时，其中一部分的气体从喷气管处喷出，对石英舟顶齿的侧壁进行吹洗，使气囊b与石英舟顶齿的接触更加稳定，同时在气囊b膨胀后，会将喷气管按压在气囊b与石英舟顶齿之间，使得气囊a内部的气体不会从喷气管处继续喷出，使得气囊b内部有良好的气压进行支撑。

本实用新型的有益效果如下：