[实用新型]一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片有效
| 申请号: | 202123026931.3 | 申请日: | 2021-12-03 |
| 公开(公告)号: | CN216719891U | 公开(公告)日: | 2022-06-10 |
| 发明(设计)人: | 吴廷斌;张学强;张建伟;罗银兵;顾正亚 | 申请(专利权)人: | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/67 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 不易 脱落 清理 碎片 石英 舟直插顶齿 字型 垫片 | ||
1.一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片,其特征在于:包括垫片(11);所述垫片(11)插在石英舟顶齿(1)的齿槽内部,所述垫片(11)的顶部开设有弧面(12);所述弧面(12)在垫片(11)顶部为对称设置。
2.根据权利要求1所述的一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片,其特征在于:所述垫片(11)的底部设置有支腿(2);所述支腿(2)在垫片(11)底部设有一对,所述支腿(2)设在垫片(11)底部使垫片(11)呈U字型。
3.根据权利要求2所述的一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片,其特征在于:所述支腿(2)的内侧壁开设有开槽(3);所述开槽(3)内部通过扭簧安装有转杆(31)。
4.根据权利要求3所述的一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片,其特征在于:所述转杆(31)中部安装有多组滚轮(4)。
5.根据权利要求4所述的一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片,其特征在于:所述开槽(3)的内侧壁固接有气囊a(5);所述气囊a(5)的位置与转杆(31)对应。
6.根据权利要求5所述的一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片,其特征在于:所述气囊a(5)侧壁固接有弧形板(6);所述弧形板(6)凸起的一面朝向转杆(31)。
7.根据权利要求6所述的一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片,其特征在于:所述支腿(2)的内侧壁固接有气囊b(71);所述气囊b(71)与气囊a(5)之间连通有导气管(7)。
8.根据权利要求7所述的一种不易脱落易清理碎片的石英舟直插顶齿U字型垫片,其特征在于:所述导气管(7)中部连通有喷气管(8);所述喷气管(8)的另一端绕过气囊b(71)延伸至气囊b(71)底部。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





