[实用新型]全自动硅片输送机构

权利要求书

1.全自动硅片输送机构，其特征在于，包括：

输送机主体(1)，所述输送机主体(1)的一端安装有上料机(3)，所述输送机主体(1)的另一端安装有分片机(2)，所述输送机主体(1)的内部依次安装有第一传输皮带(4)、第二传输皮带(5)和第三传输皮带(6)；

电动液压杆(7)，所述电动液压杆(7)的输出端传动连接有转动杆(18)，所述转动杆(18)的外表面活动铰接有连接杆(19)，所述连接杆(19)的顶端固定连接有活动传动轴(17)。

2.根据权利要求1所述的全自动硅片输送机构，其特征在于：所述电动液压杆(7)固定安装在输送机主体(1)的外表面，所述输送机主体(1)的侧面固定安装有第二伺服电机(11)，所述第二伺服电机(11)的输出端固定安装有第二传动轴(14)，所述第二传动轴(14)转动连接在输送机主体(1)的内部，所述第二传动轴(14)通过第一传输皮带(4)与活动传动轴(17)传动连接。

3.根据权利要求2所述的全自动硅片输送机构，其特征在于：所述第二传动轴(14)的两端外表面均活动套接有连接条(16)，所述活动传动轴(17)的两端分别转动连接在两组连接条(16)的外表面，所述电动液压杆(7)的输出端活动铰接有传动连接片(15)。

4.根据权利要求3所述的全自动硅片输送机构，其特征在于：所述传动连接片(15)的另一端固定套接在活动传动轴(17)的端部外表面，所述活动传动轴(17)的中部固定连接有固定条，所述连接杆(19)的底端与固定条活动铰接。

5.根据权利要求1所述的全自动硅片输送机构，其特征在于：所述输送机主体(1)的侧面固定安装有第一伺服电机(10)，所述第一伺服电机(10) 的输出端固定安装有第一传动轴(9)，输送机主体(1)的内部转动连接有第三传动轴(22)，所述第一传动轴(9)通过第二传输皮带(5)与第三传动轴(22)传动连接，所述分片机(2)的下表面设有下料杆，所述第三传动轴(22)通过第三传输皮带(6)与下料杆传动连接。

6.根据权利要求1所述的全自动硅片输送机构，其特征在于：所述输送机主体(1)的侧面固定安装有第三伺服电机(12)，所述第三伺服电机(12)的输出端固定安装有进料转轴(13)，所述进料转轴(13)通过皮带与上料机(3)传动连接。

7.根据权利要求6所述的全自动硅片输送机构，其特征在于：所述输送机主体(1)的内部且位于进料转轴(13)的侧面固定安装有上喷淋杆(20)，所述上喷淋杆(20)的外表面固定安装有喷淋头(21)，所述输送机主体(1)的内部且位于上喷淋杆(20)的下方安装有下喷淋杆(8)。