[实用新型]一种稳定传输的半导体清洗装置用滚轮轴

权利要求书

1.一种稳定传输的半导体清洗装置用滚轮轴，包括两个轴杆(1)、滚轮组件(2)和调节组件(3)，其特征在于：所述滚轮组件(2)位于轴杆(1)外表面的左右两侧；

所述滚轮组件(2)包括两个活动轮(201)，两个所述活动轮(201)分别设置于两个轴杆(1)外表面相背的一侧，所述活动轮(201)的内部开设有固定槽(202)，所述轴杆(1)的外表面且位于固定槽(202)的内部开设有第一弧形槽(203)，所述固定槽(202)的内侧开设有与固定槽(202)位置相对应的第二弧形槽(204)，所述第一弧形槽(203)和第二弧形槽(204)的内部活动安装有钢珠(205)；

所述调节组件(3)位于两个轴杆(1)相对的一侧和外表面。

2.根据权利要求1所述的一种稳定传输的半导体清洗装置用滚轮轴，其特征在于：所述钢珠(205)的数量为若干个且呈环形等距分布，所述钢珠(205)与第一弧形槽(203)和第二弧形槽(204)活动连接。

3.根据权利要求1所述的一种稳定传输的半导体清洗装置用滚轮轴，其特征在于：所述轴杆(1)的外表面且位于活动轮(201)的左右两侧均固定安装有固定板(206)，所述活动轮(201)的左右两侧均开设有环形限位槽(207)。

4.根据权利要求3所述的一种稳定传输的半导体清洗装置用滚轮轴，其特征在于：所述固定板(206)靠近活动轮(201)的一侧固定安装有一端延伸至环形限位槽(207)内部的环形限位块(208)，所述环形限位块(208)的大小与环形限位槽(207)的大小相适配。

5.根据权利要求1所述的一种稳定传输的半导体清洗装置用滚轮轴，其特征在于：所述调节组件(3)包括卡槽(301)，所述卡槽(301)设置于两个轴杆(1)相对一侧的顶部和底部，两个所述轴杆(1)相对的一侧的顶部和底部均固定安装有一端延伸至卡槽(301)内部的卡杆(302)，所述卡杆(302)的大小与卡槽(301)的大小相适配。

6.根据权利要求5所述的一种稳定传输的半导体清洗装置用滚轮轴，其特征在于：所述卡杆(302)相背一侧的左右两侧均开设有螺纹槽(303)，所述螺纹槽(303)的数量为若干个且呈等距分布。

7.根据权利要求6所述的一种稳定传输的半导体清洗装置用滚轮轴，其特征在于：所述轴杆(1)相背的一侧均活动安装有一端贯穿轴杆(1)并延伸至螺纹槽(303)内部的螺栓(304)，所述螺栓(304)与螺纹槽(303)螺纹连接。