[实用新型]一种蓝宝石半导体清洗设备用烘干装置

说明书

本实用新型公开了一种蓝宝石半导体清洗设备用烘干装置，涉及蓝宝石半导体加工技术领域，为解决现有的蓝宝石半导体清洗后晾干速度较慢的问题。所述桶体外部的两侧分别设置有进气管和排气管，且进气管和排气管与桶体固定连接，所述进气管的内部安装有第三驱动电机和加热装置，所述第三驱动电机通过第一固定架与进气管连接，所述第三驱动电机的输出端安装有第一扇叶，所述排气管的内部安装有第四驱动电机和干燥转轮，所述第四驱动电机与排气管通过第二固定架连接，所述干燥转轮与第二固定架转动连接，所述第四驱动电机的输出端安装有第一驱动齿轮，所述干燥转轮的外部设置有第一传动齿环，所述第一驱动齿轮与第一传动齿环的外部安装有传动带。

技术领域

本实用新型涉及蓝宝石半导体加工技术领域，具体为一种蓝宝石半导体清洗设备用烘干装置。

背景技术

蓝宝石半导体，化学成分为氧化铝，化学式(α-Al2O3)，是由三个氧原子和两个铝原子以共价键形式结合而成，其晶体结构为六方晶格结构。其最大的需求是作为光学和电子仪器制造原料。蓝宝石晶片可以作为用于喷镀硅晶板的基底，在此基础上制造辐射稳定的、快速反应的集成电路。在蓝宝石半导体加工完毕后进行清洗将其表面的杂物清除。

但是，现有的蓝宝石半导体清洗设备通常仅具备单一的清洗功能，在清洗完毕后无法将蓝宝石半导体表面的水渍去除，因此不满足现有的需求，对此我们提出了一种蓝宝石半导体清洗设备用烘干装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种蓝宝石半导体清洗设备用烘干装置，以解决上述背景技术中提出的蓝宝石半导体清洗后晾干速度较慢的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种蓝宝石半导体清洗设备用烘干装置，包括桶体，所述桶体外部的两侧分别设置有进气管和排气管，且进气管和排气管与桶体固定连接，所述进气管的内部安装有第三驱动电机和加热装置，所述第三驱动电机通过第一固定架与进气管连接，所述第三驱动电机的输出端安装有第一扇叶，所述排气管的内部安装有第四驱动电机和干燥转轮，所述第四驱动电机与排气管通过第二固定架连接，所述干燥转轮与第二固定架转动连接，所述第四驱动电机的输出端安装有第一驱动齿轮，所述干燥转轮的外部设置有第一传动齿环，所述第一驱动齿轮与第一传动齿环的外部安装有传动带，且传动带与第一驱动齿轮和第一传动齿环啮合连接。

优选的，所述进气管和排气管内部下端的一侧安装有挡板，且挡板与桶体滑动连接，所述挡板的下端安装有第一螺杆和第二驱动电机，且挡板与第一螺杆通过螺纹配合连接，所述第一螺杆与第二驱动电机的输出端固定连接。

优选的，所述桶体的内部安装有固定框，且固定框与桶体通过固定块连接，所述固定块的外部安装有连接块，且固定块与桶体通过连接块滑动连接，所述连接块的内部安装有第二螺杆，且第二螺杆与连接块通过螺纹配合连接，所述第二螺杆的上端安装有第五驱动电机，且第五驱动电机的输出端与第二螺杆固定连接。

优选的，所述固定框的外部安装有第二传动齿环，所述固定块的内部安装有第七驱动电机，所述第七驱动电机的输出端安装有第二驱动齿轮，且第二驱动齿轮与第二传动齿环啮合连接。

优选的，所述固定框的下端安装有网桶，且网桶与固定框固定连接，所述网桶外部下端的一侧安装有固定壳，所述固定壳的内部安装有第六驱动电机，且第六驱动电机与固定壳固定连接，所述第六驱动电机的输出端安装有偏心块。

优选的，所述桶体内部下端的一侧安装有第一驱动电机，且第一驱动电机与桶体固定连接，所述第一驱动电机的输出端安装有波轮，所述桶体外部的下端安装有支撑底柱，且支撑底柱与桶体固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：