[实用新型]一种连续式真空镀膜装置

权利要求书

1.一种连续式真空镀膜装置，其特征在于：包括若干节相连的工艺腔(1)和可在工艺腔(1)中移动的物料车(2)，每节所述工艺腔(1)的两个开口端均装有阀门(3)，用以实现两个相邻的所述工艺腔(1)之间的连通与隔断，所述物料车(2)包括框架(21)、电极板(23)、载板(24)，所述框架(21)内从上至下具有多个抽屉空间(27)，所述电极板(23)安装在所述抽屉空间(27)中，所述载板(24)设于抽屉空间(27)中且位于所述电极板(23)的下方。

2.根据权利要求1所述的连续式真空镀膜装置，其特征在于：所述物料车(2)还包括匀气件(22)，所述匀气件(22)安装在所述抽屉空间内且位于所述电极板(23)的上方，所述匀气件(22)上具有若干匀气孔。

3.根据权利要求1所述的连续式真空镀膜装置，其特征在于：所述工艺腔(1)上设有电路连接位、气路连接位。

4.根据权利要求1所述的连续式真空镀膜装置，其特征在于：所述载板(24)内部嵌有加热电阻。

5.根据权利要求1所述的连续式真空镀膜装置，其特征在于：所述框架(21)底部安装有滚轮一(25)，所述工艺腔(1)内底部铺装有轨道一(11)，所述滚轮一(25)与所述轨道一(11)相配合。

6.根据权利要求1所述的连续式真空镀膜装置，其特征在于：所述载板(24)可沿所述抽屉空间(27)进出。

7.根据权利要求6所述的连续式真空镀膜装置，其特征在于：所述载板(24)下安装滚轮二(28)，或者抽屉空间(27)内腔的下表面处安装滚轮二。

8.根据权利要求1所述的连续式真空镀膜装置，其特征在于：所述框架(21)底部装有齿条(26)，所述工艺腔(1)内装有驱动轮(12)，所述驱动轮(12)通过传动轴(13)连接在所述工艺腔(1)的内侧壁上，所述驱动轮(12)与所述齿条(26)相啮合以驱动所述物料车(2)在所述工艺腔(1)内移动。

9.根据权利要求1所述的连续式真空镀膜装置，其特征在于：所述工艺腔(1)采用方形腔。

10.根据权利要求1所述的连续式真空镀膜装置，其特征在于：两个相邻的所述工艺腔(1)共用同一个所述阀门(3)。