[实用新型]一种外延膜生长设备的基座支撑装置

权利要求书

1.一种外延膜生长设备的基座支撑装置，包括外延膜生长机体(1)，其特征在于：所述外延膜生长机体(1)的内部安装有下石英钟罩(2)且顶部水平设置有上石英圆盘(3)，所述外延膜生长机体(1)与上石英圆盘(3)之间对称设置有两组加紧机构，所述上石英圆盘(3)与下石英钟罩(2)之间形成有加工内腔(4)，所述加工内腔(4)的内部设置有基座支撑机构，所述基座支撑机构包括安装于外延膜生长机体(1)底部的旋转电机(5)和安装于旋转电机(5)动力输出端的基座支撑架，所述基座支撑架由支撑杆(6)和支撑手臂(7)组成，所述支撑手臂(7)分设有三组且均匀加工成型于支撑杆(6)的顶部，所述支撑手臂(7)的头部加工成型有分割槽口(8)，所述分割槽口(8)的两侧分别形成有托杆(9)和插杆(10)，所述基座支撑架的顶部还水平设置有基座本体(11)，所述基座本体(11)的外围均匀开设有三组配合插杆(10)使用的支撑孔(12)，所述插杆(10)的上端穿插于内，所述托杆(9)的上端与基座本体(11)的背面相接触。

2.根据权利要求1所述的一种外延膜生长设备的基座支撑装置，其特征在于：所述加紧机构从上到下依次设置有上金属夹环(13)、基板(14)和下金属夹环(15)，所述上金属夹环(13)与上石英圆盘(3)相连接，所述下金属夹环(15)与下石英钟罩(2)相连接。

3.根据权利要求2所述的一种外延膜生长设备的基座支撑装置，其特征在于：位于左侧的所述基板(14)上连接有进气管道(16)，位于右侧的所述基板(14)上连接有排气管道(17)，所述排气管道(17)上安装有气动阀门(18)。

4.根据权利要求1所述的一种外延膜生长设备的基座支撑装置，其特征在于：所述支撑手臂(7)为两段式结构且包括与支撑杆(6)相连接的斜杆(19)和一体成型于斜杆(19)上端的立杆(20)，分隔槽口开设于立杆(20)的顶部。

5.根据权利要求4所述的一种外延膜生长设备的基座支撑装置，其特征在于：所述支撑杆(6)至立杆(20)端部的水平间距为3.817cm。

6.根据权利要求1所述的一种外延膜生长设备的基座支撑装置，其特征在于：所述托杆(9)的顶部呈水平状结构，所述插杆(10)的上端呈弧形结构，所述插杆(10)的高度大于托杆(9)的高度且高度差为0.96cm。

7.根据权利要求6所述的一种外延膜生长设备的基座支撑装置，其特征在于：所述插杆(10)的外侧开设有收纳槽口(21)，所述收纳槽口(21)内置有弧面压板(22)，所述弧面压板(22)的下端与收纳槽口(21)的内壁转动连接，所述弧面压板(22)的上端加工成型有挂钩(23)且背面与收纳槽口(21)之间设置有复位垫片(24)。