[实用新型]一种碳化硅单晶生长炉用籽晶位测量装置

权利要求书

1.一种碳化硅单晶生长炉用籽晶位测量装置，其特征在于：包括测量板、限位板、数显式测量滑套、锁紧螺栓、滑杆、卡接式滑套、固定螺栓、防滑把手、导向套；测量板的底部安装有限位板，测量板的外表面设置有刻度线层，测量板活动连接在数显式测量滑套上的测量槽内，且数显式测量滑套上安装有显示屏，数显式测量滑套的后端连接有锁紧螺栓，且锁紧螺栓的头部与数显式测量滑套的后侧壁相接触，数显式测量滑套的后端安装有导向套，滑杆活动连接在导向套的导向孔内，卡接式滑套上开设有调节槽，两个卡接式滑套通过调节槽活动连接在滑杆的两侧，卡接式滑套的上端连接有固定螺栓，固定螺栓的头部与滑杆相接触，卡接式滑套的下端开设有卡接槽体，滑杆的两端均安装有防滑把手。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶生长炉用籽晶位测量装置，其特征在于：所述数显式测量滑套的上端安装有提拉柄。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶生长炉用籽晶位测量装置，其特征在于：所述防滑把手的外侧壁上套接有防烫套，防烫套的外侧壁上开设有数个槽体，槽体内安装有防滑条。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶生长炉用籽晶位测量装置，其特征在于：所述限位板为圆形或矩形限位板。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅单晶生长炉用籽晶位测量装置，其特征在于：所述滑杆为矩形杆体。