[实用新型]一种用于半导体大型管类的开孔装置

说明书

本实用新型属于半导体装置技术领域，具体涉及一种开孔装置。一种用于半导体大型管类的开孔装置，包括一工作台，工作台上具有：两个夹具，分别位于工作台左右两侧；一台钻，位于两个夹具之间，台钻的钻头轴向为前后方向；一四方向移动机构，具有上下移动端和左右移动端，左右移动端固定台钻。本实用新型提高了打孔速度，减少人工成本，提高了打孔的可靠性，降低操作者对待开孔产品开孔品质的影响，提升了待开孔产品品质的稳定性，提高了生产能力，此装置亦可快速装卸，提高了工作效率。

技术领域

本实用新型属于半导体装置技术领域，具体涉及一种开孔装置。

背景技术

随着半导体产业景气向上，尤其是使用在大型设备上的部件(石英管)产品的质量要求越来越高，对于石英管的需求大幅度增长的背景下，尤其是一些用做半导体大型管类需求越来越大，装配的技术指标越来越高，对于装配相关的开孔技术指标也越来越高。

传统的石英管的开孔是通过事先使用墨斗在石英管开孔位置画开孔线，通过人工使用角磨机在划线位置开孔，此方法在对大型管类的开孔时，对所划线人员和开孔人员的要求非常高，尤其是对开孔的要求很高，人的熟练程度直接影响大型管类的开孔的准确性和开孔效率。

实用新型内容

本实用新型针对上述技术问题，目的在于提供一种用于半导体大型管类的开孔装置。

一种用于半导体大型管类的开孔装置，包括一工作台，所述工作台上具有：

两个夹具，分别位于所述工作台左右两侧；

一台钻，位于两个所述夹具之间，所述台钻的钻头轴向为前后方向；

一四方向移动机构，具有上下移动端、左右移动端和前后移动端，所述前后移动端固定所述台钻。

本实用新型通过夹具将需要开孔的石英管两端进行固定，使用工作台上的台钻进行打孔，台钻可以通过四方向移动机构进行上下方向和左右方向的移动，以使台钻至待开孔产品，如石英管的待开孔位置，启动台钻后，通过台钻自身具有的进给功能进行前后移动，对待开孔产品进行钻孔，钻孔完成后，通过四方向移动机构调节台钻位置，进行下一个钻孔工作，所有孔加工完成后，松开夹具即可。本实用新型的上述结构提高了打孔速度，减少人工成本，提高了打孔的可靠性，降低操作者对待开孔产品开孔品质的影响，提升了待开孔产品品质的稳定性，提高了生产能力，此装置亦可快速装卸，提高了工作效率。

所述夹具包括：

一卡爪底座，固定在所述工作台上；

两条直线导轨，沿左右方向对称固定在所述卡爪底座上，长度方向均为前后方向；

四个导轨滑块，两个所述导轨滑块为一组对称设置且分别与两条所述直线导轨滑动连接，每个所述导轨滑块上均装有锁紧装置，由所述锁紧装置将所述导轨滑块锁紧在所述直线导轨上；

两个卡爪，一个所述卡爪底部固定在同一组所述导轨滑块上，两个所述卡爪沿前后方向对称设置。

根据待开孔产品的规格，可以对两个对称设置的卡爪通过滑动导轨滑块调节两者之间的距离，通过锁紧装置将其中一个卡爪锁定。另一个卡爪可以在待开孔产品落到夹具上后，通过相对运动卡住待开孔产品。

所述夹具还包括一夹具丝杆移动模组，所述夹具丝杆移动模组包括：

一夹具丝杆固定底座，固定于工作台上；

一夹具丝杆，轴向为前后方向，一端固定于所述夹具丝杆固定底座上；

一夹具螺母，与所述夹具丝杆转动连接，与其中一个所述卡爪固定，带动所述卡爪前后移动；

一夹具手轮，与所述夹具丝杆的另一端固定。