[实用新型]一种半导体元件自动上料测试装置

说明书

本实用新型公开了一种半导体元件自动上料测试装置，第一推车、第二推车、工作台、设置在工作台上的元件搬运机构、料盘y轴传送机构以及若干个测试治具，所述料盘y轴传送机构具有料盘进给工位、取料工位以及料盘回收工位，所述取料工位的下方设置有取料顶升机构，所述料盘进给工位的下方设有第一料盘z轴升降机构，所述料盘回收工位的下方设有第二料盘z轴升降机构，第一料盘z轴升降机构与第一料盘x轴传送机构衔接，第二料盘z轴升降机构与第二料盘x轴传送机构衔接。本实用新型提供的半导体元件自动上料测试装置，自动化地完成料盘卸下转移以及空料盘码垛回收工序，消除人工搬运半导体元件带来的问题，提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体性能检测设备领域，特别涉及一种半导体元件自动上料测试装置。

背景技术

半导体自动生产线产出半导体元件成品后，半导体元件一般会整齐储藏在料盘上，多个满料的料盘一般会通过码垛堆叠放置，当料盘码垛数量达到设定数量时，会通过推车将该垛料盘搬运至质量测试车间，工作人员需要卸下推车的料盘，然后将料盘上的半导体元件放入测试治具上进行测试，半导体元件测试合格后才能包装，测试期间产生的空料盘需要工作人员码垛放置在推车上，运回半导体自动生产线。但是，料盘卸下转移以及空料盘码垛回收的过程耗时费力；而且人工取放半导体元件过程也对半导体元件质量造成一定影响，生产效率低下。

可见，现有技术还有待改进和提高。

实用新型内容

鉴于上述现有技术的不足之处，本实用新型的目的在于提供一种半导体元件自动上料测试装置，旨在自动化地完成料盘卸下转移以及空料盘码垛回收工序，消除人工搬运半导体元件带来的问题，提高生产效率。

为了达到上述目的，本实用新型采取了以下技术方案：

一种半导体元件自动上料测试装置，包括第一推车、第二推车、工作台、设置在工作台上的元件搬运机构、料盘y轴传送机构以及若干个测试治具，所述料盘y轴传送机构具有料盘进给工位、取料工位以及料盘回收工位，所述取料工位的下方设置有取料顶升机构，所述料盘进给工位的下方设有第一料盘z轴升降机构，所述料盘回收工位的下方设有第二料盘z轴升降机构，第一料盘z轴升降机构与第一料盘x轴传送机构衔接，第二料盘z轴升降机构与第二料盘x轴传送机构衔接，所述元件搬运机构用于将取料工位上的半导体元件搬运至测试治具上实现质量测试，所述第一推车上码垛放置有多个装满半导体元件的料盘，所述第一料盘x轴传送机构用于将第一推车上的所有料盘一次性地搬运至第一料盘z轴升降机构上；所述第二料盘x轴传送机构用于将第二料盘z轴升降机构上的空料盘一次地搬运至第二推车上。

所述第一推车包括可移动的车架、两块对称设置在车架顶部的限位顶板；每块限位顶板上安装有限位侧板，两块限位侧板之间设有供料盘码垛放置的料盘储藏腔，所述限位顶板用于承托料盘；两块限位顶板分离设置，形成举升避让通道。

所述第一料盘x轴传送机构包括固定支架、设置在固定支架上的x轴滑移机构、设置在x轴滑移机构上的移动支架、可相对移动支架上下移动的托盘器、与托盘器驱动连接的托盘气缸，所述x轴滑移机构用于驱动移动支架左右运动。

所述第一料盘z轴升降机构包括z轴滑移机构、设置在z轴滑移机构上的C形托架，所述z轴滑移机构用于驱动C形托架上下移动，所述C形托架的内侧上设有两个相互对称且平行的支臂，所述支臂的上表面设有导引条，支臂的上表面设有若干定位凸起，所述料盘的底部开设有与定位凸起相适配的定位孔

所述料盘y轴传送机构包括两个对称的夹块、用于驱动两个夹块相互靠近或远离的夹持气缸，每个夹持气缸安装在一个y轴滑移机构上，两个y轴滑移机构相互平行且分离设置，所述料盘进给工位、取料工位以及料盘回收工位位于两个y轴滑移机构之间。

所述取料顶升机构包括固定平台、可相对固定平台上下移动的托板、设置在固定平台上且用于驱动托板上下移动的顶升气缸，所述托板位于两个y轴滑移机构之间。